一种大型ITO靶材储存箱.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108891737A(43)申请公布日2018.11.27(21)申请号201810936538.1B65D55/02(2006.01)(22)申请日2018.08.16B65D25/02(2006.01)(71)申请人江苏比昂电子材料有限公司地址215000江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号(72)发明人刘洪浩(74)专利代理机构苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)32268代理人冯现伟(51)Int.Cl.B65D25/10(2006.01)B65D25/24(2006.01)B65D81/02(2006.01)B65D81/05(2006.01)B65D81/26(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种大型ITO靶材储存箱(57)摘要本发明公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本发明通过设置有一系列的结构，使得该靶材储存箱，可对大型靶材进行存储的同时，方便拿取和存放，可对储存箱内部进行减震处理，对靶材进行充分保护。CN108891737ACN108891737A权利要求书1/1页1.一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体(2)、存储腔体(11)和移动柜(14)，其特征在于：所述主箱体(2)的底端固定安装有固定支腿(1)，所述主箱体(2)的表面通过合页安装有密封门体(7)，所述密封门体(7)的表面通过销轴安装有曲柄把手(4)，且曲柄把手(4)的一端向外延伸，所述密封门体(7)一侧的主箱体(2)表面焊接有卡环(3)，所述主箱体(2)的内部设置有存储腔体(11)，所述存储腔体(11)内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板(9)，所述存储腔体(11)的内部活动安装有移动柜(14)，且移动柜(14)的表面设置有凹槽(13)，所述移动柜(14)的内部均匀设置有存放隔腔(20)，所述存放隔腔(20)的内部皆活动安装有转运架(18)。2.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述固定支腿(1)的表面套接有减震弹簧(6)，且减震弹簧(6)的两端皆焊接有固定支腿(1)表面。3.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述存储腔体(11)的内部底端固定安装有防潮板(16)，防潮板(16)两侧的存储腔体(11)内部皆固定安装有限位滑槽(12)，限位滑槽(12)的表面限位安装有梯形滑块(1201)，且梯形滑块(1201)与移动柜(14)底端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述限位门板(9)内表面与存储腔体(11)的内壁表面皆固定安装有缓冲板(1001)，缓冲板(1001)的表面皆固定安装有复位弹簧(1002)，且复位弹簧(1002)的末端表面固定安装有挤压胶板(10)。5.根据权利要求4所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述挤压胶板(10)两侧的存储腔体(11)内壁表面皆固定安装有弹性气囊(15)，且弹性气囊(15)的厚度自外而内缓缓增大。6.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述转运架(18)的顶端焊接有搭板(21)，搭板(21)的表面焊接有拉环(19)，且转运架(18)的底端固定安装有橡胶支垫(1802)，且橡胶支垫(1802)的内部设置有限位槽。7.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述转运架(18)的表面边缘处设置有四个U型滑槽(1801)，存放隔腔(20)的内壁表面固定安装有四个U型滑板(17)。8.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述曲柄把手(4)一侧的密封门体(7)表面固定安装有卡槽板(8)，主箱体(2)的顶端设置有放置槽(5)。2CN108891737A说明书1/4页一种大型ITO靶材储存箱技术领域[0001]本发明涉及靶材储存技术领域，具体为一种大型ITO靶材储存箱。背景技术[0002]在镀膜靶材的分类中，ITO靶材被划分为陶瓷靶材类，本身力学性能较差，在遭受外部作用力时，极容易产生碰碎或开裂等不良现象发生，特别是大型的ITO靶材，在ITO靶材的存储过程中，为避免外部作用力对靶材的破坏，需保证存储箱或靶材盒具备充分的减震效果，而现有存放装置结构较为简单，无法对内