正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf
An****99
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相关资料
正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf
本发明涉及一种正型感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。正型感光性树脂组合物包含丙烯酸树脂和在其末端含有磺化重氮醌基团的硅氧烷共聚物。因此,可以进一步提升膜保留率和粘着性,同时保持灵敏度。
正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf
本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述组合物包含具有特定结构单元的硅氧烷共聚物。因此,由所述组合物形成的固化膜可以实现低的图案边缘角,从而在不使此类物理特性(如膜保留率和敏感性)恶化的情况下增强分辨率。
正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf
本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述正型光敏树脂组合物包含非极性有机溶剂,从而抑制所述组合物中的环氧基的反应性,以减少二醇化合物的产生。当由所述组合物制备固化膜时,可保持适当的可显影性水平以进一步增强图案粘附性、分辨率和敏感性。此外,由于本发明的组合物在室温和低温下在膜保留率上具有小的差异,因此所述组合物可以具有随时间推移稳定的稳定性。
正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf
本发明属于感光树脂组合物领域,公开了一种正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物,包括所述第一组分,为含酚羟基的碱可溶性树脂;所述第二组分,为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂,所述第三组分,为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化合物,所述第四组分,为热致产酸剂。固化图案的制备方法,将上述的正型感光树脂组合物涂布在基板上,经过烘烤、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明的正型感光树脂组合物添加有含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂与热产酸剂的组合,配合重氮萘醌磺酸酯化物,使制备的正型感光树脂组合物经过曝光、
正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf
本发明属于感光树脂组合物领域,具体公开了一种正型感光树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂聚合物;(B)交联化合物,所述交联化合物选自第一交联化合物、第二交联化合物和第三交联化合物中的至少两种;和(C)酚类重氮萘醌磺酸酯化物,所述酚类重氮萘醌磺酸酯化物包括第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物和第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物。固化图案的制备方法为将上述正型感光树脂组合物涂布在基板上,经过烘烤、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明在固化图案的制备过程的曝光后的显影过程中具有良好的显影速率,