正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112147845A(43)申请公布日2020.12.29(21)申请号202010528769.6(22)申请日2020.06.11(30)优先权数据10-2019-00781792019.06.28KR(71)申请人罗门哈斯电子材料韩国有限公司地址韩国忠清南道(72)发明人金智雄许槿郑周永任珍奎金莲玉(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人陈哲锋钱文宇(51)Int.Cl.G03F7/039(2006.01)G03F7/027(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书2页说明书21页附图2页(54)发明名称正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜(57)摘要本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述正型光敏树脂组合物包含非极性有机溶剂，从而抑制所述组合物中的环氧基的反应性，以减少二醇化合物的产生。当由所述组合物制备固化膜时，可保持适当的可显影性水平以进一步增强图案粘附性、分辨率和敏感性。此外，由于本发明的组合物在室温和低温下在膜保留率上具有小的差异，因此所述组合物可以具有随时间推移稳定的稳定性。CN112147845ACN112147845A权利要求书1/2页1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：(A)丙烯酸类共聚物；(B)硅氧烷共聚物；(C)1,2-醌二叠氮化合物；和(D)溶剂，其中所述溶剂(D)包含在25℃和1atm下沸点为155℃至200℃的非极性有机溶剂。2.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述丙烯酸类共聚物(A)包含(a-1)衍生自烯键式不饱和羧酸、烯键式不饱和羧酸酐或其组合的结构单元；(a-2)衍生自含有环氧基的不饱和化合物的结构单元；以及(a-3)不同于所述结构单元(a-1)和(a-2)的衍生自烯键式不饱和化合物的结构单元。3.如权利要求2所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述结构单元(a-3)包含由以下式1表示的结构单元(a-3-1)：[式1]在上式1中，R1是C1-4烷基。4.如权利要求3所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述结构单元(a-3)包含由以下式2表示的结构单元(a-3-2)：[式2]在上式2中，R2和R3各自独立地是C1-4烷基。5.如权利要求4所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述结构单元(a-3-1)和所述结构单元(a-3-2)具有1:99至80:20的含量比。6.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述硅氧烷共聚物(B)包含衍生自由以下式3表示的硅烷化合物的结构单元：[式3](R4)nSi(OR5)4-n在上式3中，n是0至3的整数；R4各自独立地是C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、C3-12杂烷基、C4-10杂烯基、或C6-15杂芳基；并且R5各自独立地是氢、C1-6烷基、C2-6酰基、或C6-15芳基，2CN112147845A权利要求书2/2页其中所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地具有至少一个选自由O、N和S组成的组的杂原子。7.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其包含基于100重量份的所述丙烯酸类共聚物(A)20至80重量份的量的所述硅氧烷共聚物(B)。8.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述非极性有机溶剂包含由以下式4表示的化合物：[式4]R6O(CmH2mO)2R7在上式4中，R6和R7各自独立地是氢或C1-4烷基，并且m是2或3。9.如权利要求8所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述非极性有机溶剂包括选自下组的至少一种，所述组由以下组成：二乙二醇单甲基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇甲基丙基醚、二乙二醇甲基异丙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇甲基醚和二丙二醇二甲基醚。10.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述溶剂(D)包含基于所述溶剂(D)的总重量1至30重量％的量的所述非极性有机溶剂。11.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其进一步包含多官能单体。12.如权利要求11所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述多官能单体是三官能至八官能化合物。13.如权利要求11所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述多官能单体包含烯键式不饱和双键。14.如权利要求11所述的正型光敏树脂组合物，其包含基于100重量份的所述丙烯酸类共聚物(A)1至30重量份的量的所述多官能单体。15.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其进一步包含环氧化合物。16.一种固化膜，其由如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物制备。3CN112147845A说明书1/21页正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜技术领域[0001]本发明涉及一种能够形成随时间推移在膜保留率和图案粘附性方面优异的固化膜的正型光敏