正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116027636A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202211701651.4G03F7/016(2006.01)(22)申请日2022.12.29G03F7/004(2006.01)(71)申请人江苏汉拓光学材料有限公司地址221132江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1综合楼12A13(72)发明人严珂王忍杨普高裴经和王瑶瑶周弦伶(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31313专利代理师张东梅(51)Int.Cl.G03F7/039(2006.01)G03F7/20(2006.01)G03F7/32(2006.01)G03F7/38(2006.01)权利要求书6页说明书17页附图1页(54)发明名称正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法(57)摘要本发明属于感光树脂组合物领域，公开了一种正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物，包括所述第一组分，为含酚羟基的碱可溶性树脂；所述第二组分，为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂，所述第三组分，为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化合物，所述第四组分，为热致产酸剂。固化图案的制备方法，将上述的正型感光树脂组合物涂布在基板上，经过烘烤、曝光、显影、固化，得到固化图案。本发明的正型感光树脂组合物添加有含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂与热产酸剂的组合，配合重氮萘醌磺酸酯化物，使制备的正型感光树脂组合物经过曝光、显影、固化后得到在留膜率、残留情况和固化后的耐化性上都能取得最优表现的固化膜。CN116027636ACN116027636A权利要求书1/6页1.一种正型感光树脂组合物，其特征在于，包括第一组分、第二组分、第三组分和第四组分；所述第一组分为含酚羟基的碱可溶性树脂，选自含有酚羟基的聚酰亚胺树脂、线性酚醛树脂或聚羟基苯乙烯树脂中的至少一种；所述第二组分为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂，包括如下所示的式A、式B和式C的重复单元，其中Ra1、Ra2和Ra3分别各自独立的选自氢原子或者烷基；Ra4为直链烷基或支链烷基，其碳原子可被氧原子、氮原子或硅原子取代；Ra5为环烷基或芳基，其碳原子可被氧原子或氮原子取代；所述第三组分为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化合物，选自2,1,4‑重氮萘醌酯类或2,1,5‑重氮萘醌酯类中的至少一种；所述第四组分为热致产酸剂，选自酯类磺酸衍生物或鎓盐类磺酸衍生物中的至少一种。2.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述第一组分还包括如下技术特征中的至少一种：a1)所述含有酚羟基的聚酰亚胺树脂的分子量为5000‑50000；a2)所述含有酚羟基的聚酰亚胺树脂的ADR为a3)所述含有酚羟基的聚酰亚胺树脂包括如下所示的式Ⅰ和式Ⅱ的重复单元，其中X1为包含苯环、硅氧烷或聚醚的基团，Y1为含有苯环或脂肪族的基团，R1和R2各自独立的选自氢原子、烷基、酯基或缩醛基团，0≦p≦2，0≦q≦2且p+q>0；a4)所述线性酚醛树脂的分子量为2000‑20000；a5)所述线性酚醛树脂的ADR为a6)所述聚羟基苯乙烯树脂的分子量为2000‑20000；a7)所述聚羟基苯乙烯树脂的ADR为3.根据权利要求2所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一个：a31)所述式Ⅰ的重复单元，其衍生自如下结构的化合物：2CN116027636A权利要求书2/6页a32)所述式Ⅱ的重复单元，其衍生自如下结构的化合物：4.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述第二组分还包括如下技术特征中的至少一种：b1)所述第二组分的分子量为5000‑30000；b2)所述第二组分的ADR为b3)所述式A的重复单元，其衍生自(甲基)丙烯酸；b4)所述式B的重复单元，其衍生自如下结构的化合物：3CN116027636A权利要求书3/6页b5)所述式C的重复单元，其衍生自如下结构的化合物：4CN116027636A权利要求书4/6页5.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述式A的重复单元和式B的重复单元由不饱和键酸酐和含羟基化合物经开环酯化形成，所述不饱和键酸酐选自马来酸酐、衣康酸酐、降冰片烯酸酐或四氢苯酐中的一种；所述含羟基化合物选自如下结构中的至少一种：其中1≦m≦4，1≦n≦4，m,n均为正整数。6.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述第三组分还包括如下技术特征中的至少一种：c1)所述2,1,4‑重氮萘醌酯类为2,1,4‑重氮萘醌磺酰氯的酯化物；c2)所述2,1,5‑重氮萘醌酯类为2,1,5‑重氮萘醌磺酰氯的酯化物。7.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述第四组分还包括如下技术特征中的至少一