正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112987498A(43)申请公布日2021.06.18(21)申请号202011316419.X(22)申请日2020.11.20(30)优先权数据10-2019-01580412019.12.02KR(71)申请人罗门哈斯电子材料韩国有限公司地址韩国忠清南道(72)发明人申佳姬李廷和罗钟昊许槿(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人陈哲锋徐鑫(51)Int.Cl.G03F7/075(2006.01)权利要求书2页说明书17页附图1页(54)发明名称正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜(57)摘要本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述组合物包含具有特定结构单元的硅氧烷共聚物。因此，由所述组合物形成的固化膜可以实现低的图案边缘角，从而在不使此类物理特性(如膜保留率和敏感性)恶化的情况下增强分辨率。CN112987498ACN112987498A权利要求书1/2页1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：(A)包含由以下式1表示的结构单元和由以下式2表示的结构单元的硅氧烷共聚物；(B)光活性化合物；以及(C)溶剂：在式1和2中，R1、R2和R3各自独立地是C1‑12烷基、C2‑10烯基、C6‑15芳基、3元至12元杂烷基、4元至10元杂烯基、或6元至15元杂芳基，R1、R2和R3中的至少一个是C6‑15芳基，并且所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地含有至少一个选自由N、O和S组成的组的相同或不同的杂原子；R4各自独立地是氢、C1‑6烷基、C2‑6酰基、或C6‑15芳基；并且m和n是所述结构单元的摩尔分数，其满足0.25≤m≤0.63，0.37≤n≤0.75，并且m+n＝1。2.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述硅氧烷共聚物(A)包含苯基且以1至1.5/1摩尔Si原子的摩尔比包含所述苯基。3.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述硅氧烷共聚物(A)具有500至2,000Da的重均分子量和5至15mgKOH/g的酸值。4.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其包含基于不包括所述溶剂(C)的所述光敏树脂组合物的总重量0.1至10重量％的量的所述硅氧烷共聚物(A)。5.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其包含硅氧烷粘合剂(E)，所述硅氧烷粘合剂包含衍生自由以下式3表示的硅烷化合物的结构单元：[式3](R5)pSi(OR6)4‑p在式3中，R5各自独立地是C1‑12烷基、C2‑10烯基、C6‑15芳基、3元至12元杂烷基、4元至10元杂烯基、或6元至15元杂芳基，并且所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地含有至少一个选自由N、O和S组成的组的相同或不同的杂原子；R6各自独立地是氢、C1‑5烷基、C2‑6酰基、或C6‑15芳基；并且p是0至3的整数。6.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述光活性化合物(B)包含选自由以下组成的组中的至少一种：1,2‑醌二叠氮‑4‑磺酸酯、1,2‑醌二叠氮‑5‑磺酸酯、和1,2‑醌二叠氮‑6‑磺酸酯。7.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其进一步包含含有双键的可光聚合化合2CN112987498A权利要求书2/2页物(F)。8.一种固化膜，其由如权利要求1所述的光敏树脂组合物制备。9.如权利要求8所述的固化膜，其是有机发光装置和量子点发光装置的像素限定膜。3CN112987498A说明书1/17页正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜技术领域[0001]本发明涉及一种能够形成在膜保留率和分辨率方面优异的固化膜的正型光敏树脂组合物，以及一种由其制备的待用于有机发光显示装置的像素限定层的固化膜。背景技术[0002]一般来说，需要较少加工步骤的正型光敏树脂组合物广泛用于液晶显示装置、有机发光显示装置等中。[0003]然而，使用常规正型光敏树脂组合物的平坦化膜或显示元件具有比使用负型光敏树脂组合物的平坦化膜和显示元件更慢的敏感性。因此，前者的敏感性需要改进。[0004]同时，常规正型光敏树脂组合物通常包含作为粘合剂树脂的碱溶性树脂(如硅氧烷聚合物和丙烯酸类聚合物)连同光敏剂(如基于醌二叠氮(quinonediazide)的化合物、芳族醛等)(参见日本公开专利公开号1996‑234421)。[0005]然而，当使用此种正型光敏树脂组合物形成固化膜时，在显影步骤期间由显影剂引起的固化膜厚度损失率是大的，并且实现足够令人满意的膜保留率、分辨率等存在限制。[0006]同时，有机发光显示装置的层间绝缘层或像素限定层必须具有相对低的孔图案边缘角。如果孔图案的边缘角过高，则图案上形成的金属层中可能出现裂缝或短路，使得当驱动装置时过大的电阻可能施加到图案边