一种新型的平板滚动纳米压印装置及压印方法.pdf

本涉及一种压印装置及其压印方法，该装置包括一柔性衬底、一传动装置，包括柔性衬底滚轮、成品滚轮，柔性衬底滚轮和成品滚轮带动柔性衬底连续滚动、一个光刻喷胶装置、至少一个预设有纳米图形单元的平板模具、一紫外曝光系统。柔性衬底滚轮与成品滚轮连续转动从而带动柔性衬底连续移动；使所述的光刻胶喷头与柔性衬底对准，将设定好的光刻胶喷涂在柔性衬底上，然后将涂有光刻胶的柔性衬底与平板模具压印，随后进行紫外曝光，曝光后分离所述的柔性衬底和平板模具，完成一个压印周期；重复所述的步骤二，使所述柔性衬底上获得若干个所述纳米图形单元形

2023-10-12

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一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置.pdf

本发明实施例提供一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置，涉及纳米压印技术领域，该压印滚轮的滚轮体中充有气体且施压面为柔性材质，能够减小在压印的过程中，压印模板受压不均匀的问题。该纳米压印装置中的压印滚轮，包括滚轮轴以及套在滚轮轴上的滚轮体，该滚轮体包括：与滚轮轴连接的内侧面、用于与待压对象接触的施压面、以及连接内侧面和施压面的连接面，内侧面、连接面以及施压面构成的腔室中充有气体，施压面为柔性材质。

2023-09-02

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纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法.pdf

本发明公开了一种纳米压印装置，包括压印外盒和安装于压印外盒内部的联动机构；所述压印外盒包括压印承载台和固定于压印承载台表面的支撑板和侧板；所述支撑板的表面固定有第一轴杆、第一卡条、第二轴杆和第二卡条；所述联动机构包括齿轮、连接滑块、第一连杆、第二连杆、连接条、第三连杆和压印机构，所述齿轮与连接滑块通过第一连杆相连，所述连接滑块与连接条通过第二连杆相连，所述连接条与压印机构通过第三连杆相连；本发明还公开了利用该纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法，包括熔融共混、挤压造粒、纳米压印等步骤。本发明在薄膜原料中添加复

2023-08-31

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压印装置及压印方法.pdf

压印装置为在主基板及聚合物薄膜之间施加压力，将形成在所述主基板的图案转印于所述聚合物薄膜。所述压印装置包括多个线圈，利用通过所述多个线圈感应的电磁场加热所述主基板的表面。在多个线圈分别定义贯通孔，在所述贯通孔插入支撑杆。所述多个线圈的位置对应于所述主基板而发生改变。

2023-05-29

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一种纳米压印模具、机台及其压印方法.pdf

本申请公开了一种纳米压印模具、机台及其压印方法；包括模具，所述模具用于压印压印材料，所述模具包括凸出区和凹陷区；纳米压印机台还包括加热部件；所述加热部件仅对应所述模具的凸出区进行加热。仅对模具凸出区分进行加热，可以尽量减薄压印后凹陷部分或部分融化压印后凹陷部分的压印材料，甚至是完全融化残留的凹陷部分，可以省去后续制程对残留的凹陷部分的刻蚀时间，减少制程时间，形成所需的压印图案；另一方面还可以减小模具表面与残留的凹陷部分的粘附力和粘附面积，在脱模的过程中，减小模具对整个压印材料完整性破坏的概率。

2023-11-15

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