一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110284108A(43)申请公布日2019.09.27(21)申请号201910711299.4(22)申请日2019.08.02(71)申请人昆山维信诺科技有限公司地址215300江苏省徐州市昆山市高新区晨丰路188号(72)发明人于子洋葛鹏程廖明富(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250代理人李亚南(51)Int.Cl.C23C14/26(2006.01)C23C14/12(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图1页(54)发明名称一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置(57)摘要本发明涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置。本发明提供的蒸镀腔室内衬装置，包括腔室组件，所述腔室组件，包括，第一壳体，具有相对设置的第一开口端和第二开口端，所述第一开口端外接蒸发装置，所述第一壳体内形成适于蒸汽流通的蒸汽通道；第二壳体，与所述第二开口端连通，所述第二壳体内形成用于留存来自所述蒸汽通道蒸汽的材料留存区。本发明提供的蒸镀腔室内衬装置可保证蒸发装置可以提前对有机材料进行升温，而无需担心蒸发的材料进入蒸镀区域对基板造成干扰。CN110284108ACN110284108A权利要求书1/1页1.一种蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，包括腔室组件，所述腔室组件，包括，第一壳体，具有相对设置的第一开口端和第二开口端，所述第一开口端外接蒸发装置，所述第一壳体内形成适于蒸汽流通的蒸汽通道；第二壳体，与所述第二开口端连通，所述第二壳体内形成用于留存来自所述蒸汽通道蒸汽的材料留存区。2.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述第一壳体倾斜设置形成倾斜的蒸汽通道，以使蒸汽沿所述第一开口端至第二开口端的方向上在蒸汽通道内流通时呈上升趋势。3.根据权利要求2所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述蒸汽通道与水平面夹角为30-45°；所述蒸汽通道为筒状蒸汽通道。4.根据权利要求1-3任一项所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述材料留存区与所述第二开口端正对的内壁上设置若干朝向所述第二开口端凸出的凸起；优选地，所述凸起为圆形凸起。5.根据权利要求1-4任一项所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，还包括，回收装置，与所述第二壳体的底部连通，以使所述材料留存区内的材料回收至所述回收装置内；优选地，所述回收装置与第二壳体之间可拆卸连通；加热组件，设置于所述蒸汽通道上，以加热所述蒸汽通道内壁上留存的材料并使其进入所述材料留存区。6.根据权利要求5所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述加热组件为环状加热组件，所述环状加热组件缠绕于所述第一壳体上，以对所述蒸汽通道加热。7.根据权利要求1-6任一项所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述第一壳体的形状为长方体；所述第二壳体的形状为长方体或正方体；所述回收装置的形状为长方体。8.根据权利要求1-7任一项所述的蒸镀腔室内衬装置，其特征在于，所述第一壳体、第二壳体和回收装置的材质均为不锈钢材质。9.一种蒸发系统，其特征在于，包括蒸发装置及与所述蒸发装置连通的权利要求1-8任一项所述的蒸镀腔室内衬装置。10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求9所述的蒸发系统。2CN110284108A说明书1/6页一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置技术领域[0001]本发明涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置。背景技术[0002]有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，又称为有机电激光显示、有机发光半导体，是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件，OLED以广视角、高对比、低耗电、响应速度快、工作温度范围广等优点，在显示领域引起人们的广泛关注。[0003]OLED发光需在基板与封装机构间蒸镀数层有机材料，其中蒸镀装置分为点源蒸镀设备和线源蒸镀设备，二者都是通过在大气环境中对蒸镀腔体内的坩埚添加有机材料，抽真空至高真空环境后，加热坩埚使有机材料蒸发气化，从而制备OLED器件的有机薄膜。针对点源蒸镀设备，由于点源(蒸镀用蒸发源)中一次性添加的材料有限，存在材料耗尽需要切换蒸发源的过程，在此过程中，由于无法提前将材料进行升温及保持材料蒸发速率稳定，从而使得在换源过程中易导致屏体颜色和均匀性波动，产生生产损失，然而如果仅仅在蒸镀腔室内设置蒸发装置对材料进行提前升温，蒸发的材料易对正在蒸镀的基板造成干扰和污染。因此，需要在蒸镀腔室内设置一个与蒸发装置相连的内衬装置，以用来阻镉蒸发的材料进入蒸镀区域对基板造成干扰，同时吸附蒸发的材料，现有技术中所述内衬装置为一个单通道直筒结构，为了保证有机材料蒸发速率的稳