蒸镀装置及蒸镀方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112813383A(43)申请公布日2021.05.18(21)申请号202011619121.6H01L51/56(2006.01)(22)申请日2020.12.30(71)申请人云谷（固安）科技有限公司地址065500河北省廊坊市固安新兴示范产业园区(72)发明人赵文炎王彦青(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司11258代理人娜拉(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/12(2006.01)C23C14/24(2006.01)C23C14/54(2006.01)H01L51/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称蒸镀装置及蒸镀方法(57)摘要本申请实施例公开一种蒸镀装置及蒸镀方法。本申请实施例第一方面提供一种蒸镀装置，包括，掩膜板、蒸镀源以及监测设备，蒸镀源通过掩膜板对待蒸镀基板进行蒸镀，监测设备用于监测待蒸镀基板靠近掩膜板一侧表面的残留物。采用本申请第一方面的蒸镀方法得到的显示面板，显示面完整性高，整体显示效果优异，避免了显示面出现黑斑的问题。CN112813383ACN112813383A权利要求书1/2页1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：掩膜板、蒸镀源以及监测设备，所述蒸镀源通过所述掩膜板对待蒸镀基板进行蒸镀，所述监测设备用于监测所述待蒸镀基板靠近所述掩膜板一侧表面的残留物。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测设备包括至少一组发射器和接收器；所述发射器用于向所述掩膜板和所述待蒸镀基板之间的间隙发射检测波，所述接收器用于接收所述检测波以判断所述残留物的高度是否超过预设值。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述接收器接收所述残留物反射的所述检测波。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述检测波与所述待蒸镀基板之间最短距离为L，所述掩膜板和所述待蒸镀基板之间的间隙距离为H，所述最短距离L和间隙距离H之间满足以下关系式(1)：L/H＝K式(1)其中，距离比值K的取值范围是0.05至0.5；优选的，所述距离比值K的取值范围是0.05至0.2；优选的，所述间隙距离H的取值范围是10微米至100微米；优选的，所述最短距离L的取值范围是5微米至10微米。5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述发射器发射红外线或超声波。6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测设备还包括信息处理装置，用于根据所述接收器接收的所述检测波判断所述残留物的高度是否超过预设值，当所述残留物的高度超过所述预设值，所述信息处理装置发出报警指令；报警器，用于接收所述报警指令并发出警报。7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测设备还包括控制模块，所述控制模块用于接收所述报警指令并控制所述蒸镀装置停止工作。8.一种蒸镀方法，其特征在于，所述蒸镀方法包括：固定待蒸镀基板、并提供掩膜板与所述待蒸镀基板进行对位放置；在所述待蒸镀基板与所述掩膜板之间保持预设间隙的工艺条件下，利用蒸镀源使蒸镀材料通过所述掩膜板蒸镀到所述待蒸镀基板；利用监测设备对所述待蒸镀基板靠近掩膜板一侧表面的残留物进行监测；根据所述残留物的监测数据确定是否停止使用当前所述掩膜板持续蒸镀作业。9.根据权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，所述利用监测设备对所述待蒸镀基板靠近掩膜板一侧表面的残留物进行监测的步骤中，包括：向位于所述预设间隙的第一平面内发射检测波，并接收所述检测波，以根据接收的所述检测波判断所述残留物的高度是否超过预设值；优选的，所述第一平面与所述待蒸镀基板靠近所述掩膜板一侧表面之间具有第一预设距离L’，所述第一预设距离L’与所述预设间隙的宽度H’的比值K’的取值范围是0.05至0.5。10.根据权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于，所述根据所述残留物的监测数据确定是否停止使用当前所述掩膜板持续蒸镀作业的步骤中，根据所述接收的所述检测波确定所述残留物的高度超过预设值时，控制蒸镀过程停2CN112813383A权利要求书2/2页止，采用新的掩膜板替换当前所述掩膜板；或者，对当前所述掩膜板进行清洗。3CN112813383A说明书1/7页蒸镀装置及蒸镀方法技术领域[0001]本发明涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。背景技术[0002]具有有机发光二极管(OrganicLight‑EmittingDiode，OLED)显示面板的显示模组因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示领域中的主流显示模组。[0003]然而，一般的显示面板显示过程中在显