蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116005112A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211555272.9(22)申请日2022.12.06(71)申请人四川阿格瑞新材料有限公司地址620564四川省眉山市仁寿县视高街道腾飞大道三段1号(72)发明人李云飞王煦张悦吴义超岳小非戴雷蔡丽菲(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205专利代理师谭志鹏(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图5页(54)发明名称蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法(57)摘要本发明公开一种蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法，属于真空镀膜技术领域。其中，蒸发源装置包括旋转台和蒸发源单元，所述蒸发源单元设有多个并圆周设在所述旋转台上，所述蒸发源单元包括用于收容坩埚的壳体；所述蒸发源装置还包括遮挡件；所述遮挡件与所述旋转台可拆连接，所述遮挡件与任一所述蒸发源单元呈上下相对设置；所述遮挡件设有贯穿上下的通孔，所述壳体的上端相对于所述通孔凸出设置，且所述壳体的外周面与所述通孔的内周面连接。本发明结构新颖，设计独特，成本低，能够解决同一蒸发源单元在进行前后两次材料蒸发镀膜时发生材料交叉污染的问题，从而有助提升器件的寿命和性能。CN116005112ACN116005112A权利要求书1/1页1.一种蒸发源装置，包括旋转台和蒸发源单元，所述蒸发源单元设有多个并圆周设在所述旋转台上，所述蒸发源单元包括用于收容坩埚的壳体；其特征在于，所述蒸发源装置还包括遮挡件；所述遮挡件与所述旋转台可拆连接，所述遮挡件与任一所述蒸发源单元呈上下相对设置；所述遮挡件设有贯穿上下的通孔，所述壳体的上端相对于所述通孔凸出设置，且所述壳体的外周面与所述通孔的内周面连接。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述遮挡件为金属件。3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述遮挡件设有多个且圆周设在所述旋转台上，多个所述遮挡件与多个所述蒸发源单元一一对应，相邻两个所述遮挡件相接。4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括盖板；所述旋转台的外周边沿向上凸出形成围板，所述围板的上表面高于所述壳体的上表面和所述遮挡件的上表面，所述盖板盖合设于所述围板，所述盖板的内周面与所述围板的外周面相接，所述旋转台能相对所述盖板旋转；所述盖板设有贯穿上下的蒸镀通孔，所述蒸镀通孔能与任一所述壳体呈上下相对设置。5.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，相邻两个所述遮挡件之间设有分隔板，所述分隔板沿所述旋转台的径向延伸设置，所述分隔板分别与所述围板和旋转台连接，所述围板的上表面和所述分隔板的上表面平齐，所述遮挡件分别与相邻两块所述分隔板相抵接。6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，所述遮挡件卡接于所述蒸发源单元。7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述遮挡件的上表面设有把手。8.根据权利要求2至7任一所述的蒸发源装置，其特征在于，所述遮挡件为不锈钢挡板。9.一种真空蒸镀机，其特征在于，包括如权利要求1至8任一所述的蒸发源装置。10.一种真空蒸镀方法，其特征在于，包括如下的步骤：在蒸镀前：将待蒸镀的材料加入坩埚，并将坩埚放置于蒸发源单元的壳体内，其中，所述蒸发源单元设有多个且圆周布置在蒸发源装置的旋转台上；针对每个所述蒸发源单元设置遮挡件，将所述遮挡件覆盖设于所述蒸发源单元的上方，驱使所述壳体穿设于所述遮挡件的通孔，使所述壳体的外周面与所述通孔的内周面相接；将盖板盖合设在所述旋转台上，并使所述旋转台上的其中一个所述坩埚与所述盖板上的蒸镀通孔上下相通，其中，将与所述蒸镀通孔上下相通的坩埚设为工作坩埚；在蒸镀时：抽真空；对所述工作坩埚加热，令材料受热蒸发；在所述工作坩埚内的材料蒸镀完毕，驱使所述旋转台转动以切换所述工作坩埚；在蒸镀后：取出坩埚；拆卸遮挡件。2CN116005112A说明书1/8页蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法技术领域[0001]本发明属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法。背景技术[0002]有机发光二极管(OLED)具有更轻薄、更具柔韧性、耐低温、视野范围更广、响应速度更快、功耗低、宽温度特性、低驱动电压以及能实现高分辨率显示等优点，是近十年来显示领域最具前景的研究热点。[0003]在器件制作的过程中，有机电致发光材料在真空腔室内受热蒸发，并附着在基板上，以在基板的表面上形成一层薄膜。器件的性能极大受材料成膜质量的影响，若在蒸发镀膜的过程中发生材料的交叉污染，便会导致器件的寿命直线下降。[0004]现有的真空蒸镀装置的结构包括有旋转台和多个蒸发源单元，比如申请号为CN20161025