面蒸发源蒸镀装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109457218A(43)申请公布日2019.03.12(21)申请号201811500640.3(22)申请日2018.12.10(71)申请人上海大学地址200444上海市宝山区上大路99号(72)发明人张志林张建华李俊蒋雪茵(74)专利代理机构上海上大专利事务所(普通合伙)31205代理人陆聪明(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/26(2006.01)C23C14/28(2006.01)B05B9/04(2006.01)B05D1/02(2006.01)B05D3/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称面蒸发源蒸镀装置(57)摘要本发明涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件，所述承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层，构成载有蒸发料膜层的面蒸发源；在此面蒸发源两端有一对加热电极，通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上。从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制，均匀性控制等复杂的机构，降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍，提高了设备的利用率。所提供的波峰涂装置是溶有一定蒸发料浓度的溶液在波峰发生器中产生能产生一高于溶液面的稳定的溶液波峰，此波峰与波峰垂直方向移动的蒸发料薄膜承载件基板的表面接触后在承载件上留下部分的溶液薄层经烘烤干燥后CN109457218A形成一均匀的蒸发料薄膜层。CN109457218A权利要求书1/2页1.一种面蒸发源蒸镀装置，包括接受蒸镀材料的半成品基板（115,209）、带有匀布状镂空型孔（112）的掩膜板（113），其特征在于：由两个卷有柔性金属箔带卷筒（105和104）装有一条柔性金属箔带（101）作为蒸发料薄膜层的承载件，通过两个转向辊筒（106和107）转到两个加热电极辊筒（108和109）之间成一个平整的蒸发面，在该平面上或者是带有发热介质层的平板基片（201）用波峰涂（103）的方法，或者用印刷、或转印、或喷涂、或流延、或蒸发、或溅射方法沉积一层蒸发料薄膜层（102,202）组成的面蒸发源，面蒸发源平面的两端加有两个电极（108和109,204和205）可以瞬间通电或者用电磁、或中频、或高频、或微波、或热辊方法来实现瞬间加热，瞬间把面蒸发源上的蒸发料薄膜层（102,202）全部蒸发到在它上面的半成品基板（115,209）上形成蒸发薄膜层（114,208），两者之间可以有一个带有匀布状镂空型孔（112）的掩膜板（113）组成一个面蒸发源的蒸镀系统，它可在高真空或惰性气体的低真空气氛下进行蒸发，并由多个蒸镀系统在一个真空系统内排列成行，接受蒸发料的半成品基板可按程序完成第一次蒸镀第一层蒸发薄膜层后再向前推进到下一个蒸镀系统进行下一层第二层蒸发薄膜层的蒸镀，形成一个完整的蒸镀线，每个蒸镀系统（501，502）边上有一个备用的面蒸发源波峰涂膜室（501-1，502-1）在大气或惰性气氛中完成蒸发料的波峰涂膜后来更换边上已蒸发完蒸发料的面蒸发源。2.根据权利要求1所述的面蒸发源蒸镀装置，其特征在于；所述的用电磁、或中频、或高频、或微波、或热辊方法来实现瞬间加热的方法中，以热辊的蒸发方法的面蒸发源蒸镀装置它由两个卷有柔性的金属箔带卷筒（405和404）的柔性的金属箔带（401）作为蒸发料薄膜层的承载件，它上面涂有蒸发料薄膜层(402)组成的面蒸发源，以稳定的速度通过高温的热辊（408），在热辊上面有接受蒸发镀层（414）的半成品样品基板（415），两者之间可以有一个带有匀布镂空型孔（412）的掩膜板（413），它们以柔性金属箔带（401）移动的同样的速度和柔性金属箔带（401）同步向前移动当蒸发料层经过高温热辊时会瞬间蒸发到基板（415）上形成蒸发薄膜层（414），组成一个面蒸发源热辊式瞬间蒸发的蒸镀系统。3.根据权利要求1和2所述的面蒸发源蒸镀装置，其特征在于：所述的柔性金属箔带（101,401）是厚度为0.01到0.1mm的不锈钢、或钼、或钨、或铝合金、或镍铬箔片。4.根据权利要求1和2所述的面蒸发源蒸镀装置，其特征在于：所述的柔性金属箔带（101,401）两边的边上镶有一间隔窄条(101-1)。5.根据权利要求1所述的面蒸发源蒸镀装置，其特征在于所述的带有发热介质层的平板基片中的基片是玻璃、或石英、或陶瓷的平板片，所述的带有发热介质层的平板基片中的发热介质是均匀的透明的导电膜、或金属导电膜、或非金属导电膜。6.根据权利要求1所述的面蒸发源蒸镀装置，其特征在于：所