真空干燥装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110931658A(43)申请公布日2020.03.27(21)申请号201911110247.8(22)申请日2019.11.14(71)申请人TCL华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人黄辉(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司44570代理人唐秀萍(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)H01L27/32(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称真空干燥装置(57)摘要本申请提出了一种真空干燥装置，包括真空腔室以及位于所述真空腔室内的载台、冷却装置和吸附机构，载台用于承载待干燥的基板，冷却装置包括与载台相对设置的第一冷却机构，和位于载台内部或下方的第二冷却机构，其中，第一冷却机构内部设有一空腔，以及面向所述载台的一侧设有与所述空腔相通的通孔。本申请通过在冷却机构内部设置吸附机构，并且在所述冷却机构面向所述载台的一侧设有与所述吸附机构相通的通孔，利用吸附机构吸附基板上挥发出的残留的有机溶剂，从而收避免有机溶剂无法消除而形成的液滴现象。CN110931658ACN110931658A权利要求书1/1页1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：真空腔室；位于所述真空腔室内的载台、冷却装置以及吸附机构；所述载台位于所述真空腔室的底部，并用于承载待干燥的基板；所述冷却装置包括与所述载台相对设置的第一冷却机构，所述第一冷却机构内部设有至少一空腔，并且面向所述载台的一侧设有与所述空腔相通的通孔；所述吸附机构设置于所述第一冷却机构内部空腔内；其中，所述吸附机构用于通过所述通孔吸附所述基板上挥发出的残留的有机溶剂。2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括移动机构，所述移动机构的一端与所述真空腔室固定连接，另一端与所述第一冷却机构连接，所述移动机构用于控制所述第一冷却机构移动。3.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一冷却机构包括至少两个间隔设置的所述通孔，且至少两个所述通孔的孔径大小相等。4.如权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一冷却机构还设置于所述载台四周，且相邻的两个所述第一冷却机构之间具有间隙。5.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述冷却机构还包括第二冷却机构，所述第二冷却机构设置于所述载台内部或者下方。6.权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一冷却机构和所述第二冷却机构的内部均中空形成一容腔。7.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于所述冷却机构还包括冷却介质，所述冷却介质填充于所述容腔。8.如权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，所述冷却介质为冷却空气、冷却水或者冷却液，所述冷却介质的温度范围为0℃-30℃。9.权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第二冷却机构在所述载台上形成投影的覆盖率，由所述载台中心区域向外围区域逐渐增大。10.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括设于所述真空腔室上的真空抽取机构，所述真空抽取机构的抽气口与所述真空腔室连通。2CN110931658A说明书1/5页真空干燥装置技术领域[0001]本申请涉及面板制造技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置。背景技术[0002]有机电致发光器件(OLED)相对于液晶显示器(LCD)，具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为是最有发展前途的新一代显示技术。[0003]目前，OLED的发展趋势逐渐向着喷墨打印的方向进行，但是在喷墨打印的过程中，分别有干燥，烘烤，打印等工序，而打印的膜层最少有三层，分别是空穴注入层，电子传输层及发光层。[0004]现有技术中，每一次打印后均需进行干燥，烘烤。目前干燥主要目的是将膜层形状固化定型，因此，在上下表面都需要冷却使内部溶剂可以凝聚在一起，采用真空将其抽干，但是由于真空干燥的过程中需要在较低温度下进行，单一的抽真空方式带走的溶剂量有限，无法将溶剂彻底抽走，常常在真空干燥装置上端有溶剂凝结，溶剂的长期累积会滴落在基板表面，从而污染器件影响制程。发明内容[0005]本申请提供一种真空干燥装置，以解决现有真空干燥技术中，由于真空干燥的过程中需要在较低温度下进行，单一的抽真空方式带走的溶剂量有限，无法将溶剂彻底抽走，导致常常在真空干燥装置上端有溶剂凝结，溶剂的长期累积滴落在基板表面，进而污染器件影响制程。[0006]为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：[0007]本申请提供一种真空干燥装置，包括：[0008]真空腔室；[0009]位于所述真空腔室内的载台、冷却装置以及吸附机构；[0010]所述载台位于所述真空腔室的底部，并用于承载待干燥的基板；[