真空干燥装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114454628A(43)申请公布日2022.05.10(21)申请号202210111962.9(22)申请日2022.01.28(71)申请人TCL华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人张文林(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司44570专利代理师方艳丽(51)Int.Cl.B41J11/00(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图2页(54)发明名称真空干燥装置(57)摘要本申请实施例提供一种真空干燥装置；该真空干燥装置包括一反应腔室，反应腔室内设置有用于支撑基板的多个支撑杆，每一支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值；上述真空干燥装置通过在每一个支撑杆内均连接有控温构件，控温构件用于调节支撑杆的温度，以使支撑杆的温度与基板的温度的差值的绝对值小于预设差值，从而在真空干燥制程中不会因为支撑杆与基板的温度差异过大而导致支撑杆所支撑位置处的有机墨水提前固化而形成点状的膜面凸起，进而改善了基板产生由支撑杆引起的膜层不均匀问题，进一步提高了基板的产品良率。CN114454628ACN114454628A权利要求书1/1页1.一种真空干燥装置，应用于显示面板，其特征在于，包括一反应腔室，所述反应腔室内设置有用于支撑基板的多个支撑杆；其中，每一个所述支撑杆内均连接有控温构件，所述控温构件用于调节所述支撑杆的温度，以使所述支撑杆的温度与所述基板的温度的差值的绝对值小于预设差值。2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述控温构件包括设置于所述支撑杆内部的温度探针、加热单元、以及降温单元，所述控温构件还包括设置于所述支撑杆外的PID闭环温度控制系统；其中，所述PID闭环温度控制系统通过第一信号线与所述温度探针电连接，通过第二信号线与所述加热单元电连接，通过第三信号线与所述降温单元连接。3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括热电偶温度测试装置，所述热电偶温度测试装置设置在所述基板上，以探测所述基板的温度。4.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述温度探针包括热电偶以及热电阻传感器中的任意一种；所述加热单元包括加热丝以及加热棒中的任意一种；所述降温单元包括第一流体管路，所述第一流体管路为一闭合回路。5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑杆的内部还设置有流体输入管路，所述流体输入管路与所述第一流体管路连通；其中，所述流体输入管路向所述第一流体管路内输入的流体为工艺冷却水、氮气、以及压缩干燥空气中的任意一种。6.根据权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，每个所述支撑杆均包括支撑柱以及与所述支撑柱固定连接的支撑针头；其中，所述加热单元、所述降温单元以及所述温度探针均设置于所述支撑针头的内部；所述第一信号线、所述第二信号线以及所述第三信号线均贯穿所述支撑柱的本体并延伸至所述支撑针头的内部；所述流体输入管路贯穿所述支撑柱的本体。7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑柱为圆柱型，所述支撑针头与所述基板接触的部分的形状为球形、圆锥形以及圆柱形中的任意一种。8.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑针头的材料的热传导率小于或者等于所述支撑柱的热传导率。9.根据权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑柱的材料为PFA塑料、PTFE塑料、PEEK塑料、玻璃、不锈钢以及铝合金中的任意一种；所述支撑针头的材料为PFA塑料、PTFE塑料、PEEK塑料、玻璃、以及不锈钢中的任意一种。10.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括第一分压板以及与所述第一分压板相对设置的第二分压板，所述基板设置于所述第一分压板与所述第二分压板之间；其中，所述第一分压板沿垂直于所述基板的方向移动，所述第二分压板固定于所述反应腔室的底部，多个所述支撑杆设置于所述第二分压板靠近于所述第一分压板的一侧。2CN114454628A说明书1/7页真空干燥装置技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种真空干燥装置。背景技术[0002]目前有机发光二极管显示器(OrganicLightEmittingDiode，OLED)器件的发展趋势向着喷墨打印的方向进行，喷墨打印是精准地将打印墨水一滴一滴地滴入像素定义层凹槽内，然后干燥、烘烤成膜；而打印后的真空干燥装置(VacuumColdDry，VCD)直接关系到器件成膜均一性，是影响器件发光的关键之一。VCD工艺干燥过程中由于支撑基板的支撑杆(LiftPin)