真空干燥装置及真空干燥方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109865650A(43)申请公布日2019.06.11(21)申请号201910130466.6(22)申请日2019.02.21(71)申请人深圳市华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人汪明建徐凯区炜锋(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂张洋(51)Int.Cl.B05D3/04(2006.01)G02F1/13(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称真空干燥装置及真空干燥方法(57)摘要本发明提供一种真空干燥装置及真空干燥方法。该真空干燥装置包括腔室以及设于所述腔室中的多个支撑杆，所述支撑杆用于支撑液晶母板，所述液晶母板包括多个间隔设置的液晶面板以及包围每个液晶面板的外围区域，所述多个支撑杆包括对应支撑液晶面板的多个第一支撑杆以及对应支撑外围区域的多个第二支撑杆，提高支撑杆的数量以降低液晶母板在每一个支撑点位受到的压强，避免液晶母板在真空干燥时单点受力过大而导致形成Mura，并且针对同一尺寸的液晶母板生产不同尺寸的液晶面板时，不需要切换支撑杆排布方式，以一种通用的支撑杆排布方式满足所有尺寸的液晶面板的生产，提高产能。CN109865650ACN109865650A权利要求书1/1页1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：腔室(10)以及设于所述腔室(10)中的多个支撑杆(20)；所述支撑杆(20)用于支撑液晶母板(30)；所述液晶母板(30)包括多个间隔设置的液晶面板(31)以及包围每个液晶面板(31)的外围区域(32)；所述多个支撑杆(20)包括对应支撑液晶面板(31)的多个第一支撑杆(21)以及对应支撑外围区域(32)的多个第二支撑杆(22)。2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一支撑杆(21)的数量大于所述第二支撑杆(22)的数量。3.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述多个支撑杆(20)呈阵列排布。4.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括设于腔室(10)一侧的抽气孔(11)以及与所述抽气孔(11)连接的抽气泵(12)；所述抽气泵(12)用于通过抽气孔(11)对腔室(10)进行抽真空。5.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述液晶面板(31)包括显示区(311)以及包围所述显示区(311)的非显示区(312)；所述多个第一支撑杆(21)对应支撑液晶面板(31)的显示区(311)。6.一种真空干燥方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供真空干燥装置；所述真空干燥装置包括：腔室(10)以及设于所述腔室(10)中的多个支撑杆(20)；步骤S2、所述支撑杆(20)支撑液晶母板(30)；所述液晶母板(30)包括多个间隔设置的液晶面板(31)以及包围每个液晶面板(31)的外围区域(32)；所述多个支撑杆(20)包括对应支撑液晶面板(31)的多个第一支撑杆(21)以及对应支撑外围区域(32)的多个第二支撑杆(22)；步骤S3、对所述腔室(10)进行抽真空以干燥液晶母板(30)。7.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述第一支撑杆(21)的数量大于所述第二支撑杆(22)的数量。8.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述多个支撑杆(20)呈阵列排布。9.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述真空干燥装置还包括设于腔室(10)一侧的抽气孔(11)以及与所述抽气孔(11)连接的抽气泵(12)；所述步骤S3中，所述抽气泵(12)通过抽气孔(11)对腔室(10)进行抽真空。10.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述液晶面板(31)包括显示区(311)以及包围所述显示区(311)的非显示区(312)；所述多个第一支撑杆(21)对应支撑液晶面板(31)的显示区(311)。2CN109865650A说明书1/6页真空干燥装置及真空干燥方法技术领域[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置及真空干燥方法。背景技术[0002]薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)是目前液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(ActiveMatrixOrganicLight-EmittingDiode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。[0003]现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubs