沉积装置及沉积方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111542644A(43)申请公布日2020.08.14(21)申请号201880084151.6(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限(22)申请日2018.10.19公司11002代理人刘成春刘翠娥(30)优先权数据10-2017-01791782017.12.26KR(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C14/26(2006.01)2020.06.24C23C14/14(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2018/0124512018.10.19(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/132206KO2019.07.04(71)申请人POSCO公司地址韩国庆尚北道(72)发明人南庆勋郑勇华严文钟金兑烨高景弼郑宇城权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称沉积装置及沉积方法(57)摘要本发明提供能够以规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置及方法，作为一个实施例，本发明提供一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并，与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。CN111542644ACN111542644A权利要求书1/2页1.一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。2.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述供应单元通过供应管向所述加热单元供应固体，所述供应管包括延伸至所述加热单元的熔汤内部的加热单元侧端部。3.根据权利要求2所述的沉积装置，其特征在于，所述供应管的加热单元侧端部形成有开口，所述开口小于所述固体的截面，以使供应的所述固体在通过所述熔汤熔融至少一部分后，从所述供应管排出。4.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述加热单元包括坩埚，所述缓冲单元为连接所述喷嘴和所述坩埚的空间，所述开口的面积小于所述坩埚的截面。5.根据权利要求2或3所述的沉积装置，其特征在于，所述供应单元包括：第一供应单元，供应第一固体；以及第二供应单元，供应元素或化合物与所述第一固体不同的第二固体。6.根据权利要求5所述的沉积装置，其特征在于，所述第一供应单元和所述第二供应单元通过同一个所述供应管向所述加热单元供应固体。7.根据权利要求6所述的沉积装置，其特征在于，所述第一供应单元和所述第二供应单元位于所述加热单元的上侧，从而在所述供应管中，所述固体通过自身重量来被供应至加热单元。8.根据权利要求1至3中任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述加热单元包括坩埚和设置在所述坩埚的内侧或外侧的电磁线圈。9.根据权利要求8所述的沉积装置，其特征在于，所述电磁线圈为非悬浮型感应加热单元。10.根据权利要求8所述的沉积装置，其特征在于，所述电磁线圈向垂直方向卷绕。11.根据权利要求5所述的沉积装置，其特征在于，所述第一固体和所述第二固体分别包含锌、镁、铝、锂、铟、银以及铜中的一种以上。12.一种沉积方法，包括：供应步骤，将2种以上的固体同时供应至同一个加热单元；蒸气形成步骤，使所述固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲步骤，混合所述蒸气与之前形成的蒸气；以及喷射步骤，将混合的蒸气朝向基板喷射。2CN111542644A权利要求书2/2页13.根据权利要求12所述的沉积方法，其特征在于，所述固体包含锌、镁、铝、锂、铟、银以及铜中的一种以上，所述混合的蒸气和所述固体具有不同的组成。14.根据权利要求13所述的沉积方法，其特征在于，在所述供应步骤中供应的固体整体的组成比与目标涂层的组成比一致。15.根据权利要求12所述的沉积方法，其特征在于，在所述供应步骤中，通过延伸至坩埚的熔汤内部的供应管供应所述固体，所述坩埚容纳所述固体，以使所述固体熔融并蒸发，并且在所述蒸气形成步骤中，所述固体中的至少一部分在熔融后从所述供应管中排出并混合于熔汤中。16.根据权利要求12所述的沉积方法，其特征在于，所述各个固体仅包含锌、镁、铝、锂、铟、银以及铜中的任一种，在所述供应步骤中供应的固体整体的组成比与目标涂层的组成比一致。3CN111542644A说明书1/6页沉积装置及沉积方法技术领域