树脂组合物、由其形成的固化膜和图案固化膜、以及它们的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106462057A(43)申请公布日2017.02.22(21)申请号201580009210.X(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限(22)申请日2015.02.17公司11243代理人钟晶陈彦(30)优先权数据2014-0298922014.02.19JP(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G03F7/027(2006.01)2016.08.17G03F7/031(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2015/0007322015.02.17(87)PCT国际申请的公布数据WO2015/125469JA2015.08.27(71)申请人日立化成杜邦微系统股份有限公司地址日本东京都(72)发明人小野敬司榎本哲也谷本明敏大江匡之铃木佳子权利要求书2页说明书20页附图2页(54)发明名称树脂组合物、由其形成的固化膜和图案固化膜、以及它们的制造方法(57)摘要一种含有下述(a)成分、(b)成分和(c)成分的树脂组合物。(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体；(b)曝光部表面增溶剂；(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物(式(1)中，R1为四价有机基团，R2为二价有机基团，R3和R4各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。)。CN106462057ACN106462057A权利要求书1/2页1.一种树脂组合物，其含有下述(a)成分、(b)成分和(c)成分，(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体(b)曝光部表面增溶剂(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物式(1)中，R1为四价有机基团，R2为二价有机基团，R3和R4各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。2.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为氢醌或其衍生物。3.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为苯醌或其衍生物。4.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为下述式(2)所表示的化合物，式(2)中，R5为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数2～10的烷氧基烷基，a为0～5的整数，在a大于或等于2的情况下，多个R5可以相同也可以不同。5.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为下述式(3)所表示的化合物，式(3)中，X为二价有机基团，R6和R7各自独立地为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数2～10的烷氧基烷基，b为0～4的整数，c为0～4的整数。6.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为1,4,4-三甲基-2,3-二氮杂双环[3,2,2]-壬-2-烯-N,N’-二氧化物。7.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为硝酰化合物。8.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为三苯基四联氮基化合物或其衍生物。9.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为亚硝胺化合物。10.根据权利要求1～9中任一项所述的树脂组合物，所述(c)成分为肟酯化合物。11.根据权利要求1～10中任一项所述的树脂组合物，所述式(1)中的R2为下述式(5)所表示的二价有机基团，2CN106462057A权利要求书2/2页式(5)中，R10～R17各自独立地为氢原子、氟原子或一价有机基团，R10～R17的至少一个为氟原子、甲基或三氟甲基。12.根据权利要求1～11中任一项所述的树脂组合物，所述式(1)中的R2为下述式(6)所表示的二价有机基团，式(6)中，R18和R19各自独立地为氟原子或三氟甲基。13.根据权利要求1～12中任一项所述的树脂组合物，所述(b)成分的含量相对于(a)成分100质量份为0.5～3质量份。14.一种固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～13中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；以及对所述涂膜进行加热处理的工序。15.一种图案固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～13中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；对所述涂膜照射活性光线后，进行显影而得到图案树脂膜的工序；以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。16.一种由权利要求14或15所述的制造方法得到的固化膜或图案固化膜。17.根据权利要求16所述的固化膜或图案固化膜，厚度小于或等于4μm。18.一种电子部件，其具有权利要求16或17所述的固化膜或图案固化膜。3CN106462057A说明书1/20页树脂组合物、由其形成的固化膜和图案固化膜、以及它们的制造方法技术领域[0001]本发明涉及树脂组合物、使用其的固化膜和图案固化膜的制造方法、