一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114107918A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202111415516.9(22)申请日2021.11.25(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路(72)发明人姚力军潘杰边逸军王学泽宋阳阳吴东青(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司11659代理人牛海燕(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图2页(54)发明名称一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法(57)摘要本发明提供了一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢；所述方法通过螺纹加工以及冷等静压工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的高纯铝旋转靶。CN114107918ACN114107918A权利要求书1/2页1.一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述高纯铝管由高纯铝锭加工得到；优选地，所述高纯铝锭中铝含量为99.9985‑99.9995wt％；优选地，所述高纯铝管的管壁厚度为6‑8mm；优选地，所述高纯铝锭加工包括高纯铝锭经锻打、挤压、镗孔、校直和镗孔，得到所述高纯铝管；优选地，所述不锈钢管的表面螺纹的深度为0.49‑0.51mm；优选地，所述不锈钢管的表面螺纹的长度为0.8‑1.2mm；优选地，所述不锈钢管的管壁厚度为5‑7mm；优选地，所述不锈钢管和高纯铝管之间缝隙的宽度为0.49‑0.51mm。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述装配前清洁不锈钢管和高纯铝管；优选地，所述清洁的区域包括不锈钢管和高纯铝管的内外表面；优选地，所述清洁的清洁剂包括乙醇和/或丙酮。4.根据权利要求1‑3任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述不锈钢圆环的外径和高纯铝管的外径一致；优选地，所述不锈钢圆环的内径和不锈钢管的内径一致；优选地，所述密封包括每一端使用一个所述不锈钢圆环进行密封；优选地，所述焊接的方式包括氩弧焊。5.根据权利要求1‑4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)中两端中任一端的所述不锈钢圆环上打孔；优选地，所述不锈钢圆环上的孔的直径为4.9‑5.1mm；优选地，所述不锈钢圆环上的孔上焊接一个脱气管。6.根据权利要求1‑5任一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)中所述脱气包括：将焊接密封后的高纯铝管与不锈钢管置于真空脱气装置中，通过脱气管进行抽真空；优选地，所述抽真空的温度为100‑300℃；优选地，所述抽真空的时间为4‑6h。7.根据权利要求1‑6任一项所述的方法，其特征在于，步骤(4)中所述塑料胶套由上盖板和下盖板组成；优选地，步骤(4)中所述密封使用胶水。8.根据权利要求1‑7任一项所述的方法，其特征在于，步骤(4)中所述冷等静压包括三段加压‑保压过程；2CN114107918A权利要求书2/2页优选地，所述三段加压‑保压过程中一段加压的终点压力为75‑85MPa；优选地，所述三段加压‑保压过程中一段保压的时间为4‑6min；优选地，所述三段加压‑保压过程中二段加压的终点压力为150‑170MPa；优选地，所述三段加压‑保压过程中二段保压的时间为8‑12min；优选地，所述三段加压‑保压过程中三段加压的终点压力为180‑200MPa；优选地，所述三段加压‑保压过程中三段保压的时间为10‑20min。9.根据权利要求1‑8任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤(5)：冷等静压后的高纯铝管与不锈钢管，依次去除塑料胶套和两端的不锈钢圆环，加工到需要的成品尺寸；优选地，步骤(5)中去除两端的不锈钢圆环包括将两端不锈钢圆环切除。10.根据权利要求1‑9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出深度为