一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110747438A(43)申请公布日2020.02.04(21)申请号201911214635.0(22)申请日2019.12.02(71)申请人广西晶联光电材料有限责任公司地址545616广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号(72)发明人陈标郭朋刘所心马超宁(74)专利代理机构柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)45113代理人韦微(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法(57)摘要本发明涉及一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，包括以下步骤：（1）将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；（2）将旋转靶材内壁与背衬管外壁分别涂覆一层高温无机胶粘剂，加热至115-125℃，保温1-3h，再最后对旋转靶材内壁与背衬管外壁进行超声波涂铟；所述高温无机胶粘剂是由环氧树脂和物质A构成，所述物质A是铜粉、铟粉、银粉和石墨中的一种或多种；（3）将旋转靶材与背衬管进行金属化处理。本发明方法可以无需考虑靶材体、焊料层和背衬管三者的热膨胀系数，绑定完成的靶材具有很好的贴合强度，杜绝后期使用中靶材体与背衬管脱离的风险，从而提高旋转靶材的利用率。CN110747438ACN110747438A权利要求书1/1页1.一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；（2）将旋转靶材内壁与背衬管外壁分别涂覆一层高温无机胶粘剂，加热至115-125℃，保温1-3h，再最后对旋转靶材内壁与背衬管外壁进行超声波涂铟；所述高温无机胶粘剂是由环氧树脂和物质A构成，环氧树脂和物质A的重量比为：（70-80）∶（20-30），所述物质A是铜粉、铟粉、银粉和石墨中的一种或多种；（3）将旋转靶材与背衬管进行金属化处理，即将背衬管竖直定位放置在旋转平台上，再将旋转靶材套装在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个焊缝空间，分别将旋转靶材和背衬管加热至220℃-260℃，然后向焊缝空间浇注铟液，注铟完成后启动旋转平台使铟液冷却，同时停止加热，最终冷却至铟液完全凝固，关闭旋转设备，将旋转靶材冷却至室温。2.根据权利要求1所述的一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤（2）中高温无机胶粘剂涂层的厚度是0.05～0.2mm。3.根据权利要求1或2所述的一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤（2）中，超声波涂铟的厚度为0.02～0.03mm。4.根据权利要求1或2所述的一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤（3）中，在旋转靶材顶端建立铟池，然后向焊缝空间浇注铟液至充满铟池。5.根据权利要求1或2所述的一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤（3）中，当同时将多节旋转靶材套装在背衬管外侧时，相邻两节旋转靶材之间用0.2mm～0.4mm间隙片控制节缝，并采用耐高温橡胶圈密封。6.根据权利要求1或2所述的一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤（3）中，采用内加热器套装在背衬管内对背衬管进行加热，采用外加热器套装在旋转靶材外对旋转靶材进行加热。2CN110747438A说明书1/5页一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法技术领域[0001]本发明涉及一种用于磁控溅射镀膜旋转靶材的绑定方法，特别是一种高贴合强度旋转靶材的绑定方法。背景技术[0002]磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，在电子薄膜、光学薄膜、光电薄膜、磁性薄膜和超导薄膜等技术领域得到广泛的应用。随着科技的发展，镀膜行业已经成为一种专业化的行业，靶材的市场进一步的扩张。溅射靶材通常有两种：平面靶材和旋转靶材。[0003]起初是使用平面靶材，而平面靶材利用率一般只有20%～30%；随着技术的进步，逐渐开始向旋转靶过渡，旋转靶在使用过程中不断地旋转，且成膜均匀，稳定性高，成品率高，利用率可高达80%以上，在使用过程中不会出现靶材“结瘤”现象。[0004]平面靶材的靶材体与平面背板的结合技术可以施加压应力，焊料层可以比较均匀的与平面背板和平面靶材体进行贴合。然而旋转靶材体与背衬管结合技术比平面靶体与平面背板结合技术要复杂得多，主要是由于中空状的靶材体与背管在焊合的过程中不易施加压应力，致使靶材体与背衬管的结合强度较差，从而导致客户在镀膜溅射过程中发生靶材体与背衬管脱靶的风险。[0005]由于背衬管、焊料层以及靶材体三者热膨胀系数不同甚至相差悬殊，在绑定或溅射过程中，靶材体与焊料层以及焊料层与背衬管之间界面受热会产生热应力，当靶材体使用一段时间后会变薄，极易造成界面产生热应力超过靶材体的强度，从