一种石墨旋转靶材的绑定方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114231931A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111631442.2(22)申请日2021.12.28(71)申请人深圳市友容新材料科技有限公司地址518000广东省深圳市宝安区新桥街道新桥新玉路3号B1001(72)发明人周钰贵彭冲韩翔(74)专利代理机构深圳市博太联众专利代理事务所(特殊普通合伙)44354代理人董江涛(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种石墨旋转靶材的绑定方法(57)摘要本发明公开了一种石墨旋转靶材的绑定方法，它涉及磁控溅射镀膜旋转靶材绑定的技术领域；其步骤是：先在不锈钢衬管外壁均匀涂刷一层导热胶；然后在水平工作台放置一张0.3mm石墨纸，石墨纸上放筛孔尺寸为80‑120目的铜网；在铜网上均匀刷涂一层导热胶后，把石墨纸和铜网整体绑定在不锈钢衬管上，待石墨纸和铜网牢固绑定在不锈钢衬管后，固定旋转，再在石墨纸外壁涂一层导热胶，同时在石墨管套筒靶材内壁涂满一层导热胶；最后把石墨管套筒靶材旋入已绑定好石墨纸和铜网的不锈钢衬管内；它采用整根靶材绑定的方式，可以简单高效完成长尺寸靶材的绑定工作，所得产品靶材与绑定衬管贴合质量很好；导电导热性好，成本低，无需高温加热操作。CN114231931ACN114231931A权利要求书1/1页1.一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于包括如下步骤:一.衬管固定：辅助旋转工作台(6)，将不锈钢衬管(5)固定于旋转工作台(6)上；二.衬管涂布：在不锈钢衬管(5)外壁均匀涂布一层薄薄的导热胶二(4)；三.衬管绑定：将石墨纸与铜网组合(3)绑定在不锈钢衬管(5)上，将筛孔尺寸为80‑120的铜网放到石墨纸上；在铜网上均匀涂布一层导热胶二(4)；将涂布有导热胶二(4)的铜网贴合在不锈钢衬管(5)上，石墨纸朝外；固定固化即可；四.靶材绑定：在石墨纸外壁涂布导热胶一(2)；同时在石墨套管靶材内壁涂布满导热胶一(2)；将石墨旋转靶材(1)旋入绑定好铜网和石墨纸的衬管内，石墨纸与石墨旋转靶材(1)的间隙由导热胶一(2)填充；五.固化清理：将步骤(4)绑定好的靶材整体，在室温固化后清除多余残胶即可。2.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤二和步骤四操作时由旋转工作台(6)带动匀速缓慢旋转。3.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤三中石墨纸、铜网和不锈钢衬管(5)三者之间必须接合紧密无气泡。4.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于：固化在常温常压下进行。5.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于：步骤五中采用丙酮作为解胶剂清理。2CN114231931A说明书1/4页一种石墨旋转靶材的绑定方法技术领域[0001]本发明属于磁控溅射镀膜旋转靶材绑定的技术领域，具体涉及一种石墨旋转靶材的绑定方法。背景技术[0002]市面上现有工艺是采用石墨套管的形式组合在一起，具体来说：背管采用铜背管，背管车成外螺纹状；石墨管分为多段石墨套管，每一段石墨套管内壁都车成内螺纹状；然后将多段石墨套管依次旋转套入铜背管上组合完成。[0003]其特点是：操作简便，技术含量低，采用内外螺纹嵌合的方式，铜背管与石墨套管存在接触不良问题，螺纹加工偏差大也会导致嵌合不良，导致靶管导热性差，石墨靶管在溅射镀膜过程靶材表面容易发生结瘤现象；同时为了达到导热效果，背管有局限性采用铜背管；这款石墨管产品我们开发了导热胶绑定技术并经客户使用验证；而市面上其它家这款石墨管产品采用的是上述说的采用石墨套管的形式。[0004]公开号为CN201410270154.2的中国专利，公开了一种套筒靶材石墨绑定技术。步骤为：将不锈钢管衬管外径，套筒靶材内径，分别车圆至一定直径进行绑定；将靶材套筒上包裹加热包加热；把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好；最后把绑定好石墨纸的靶材旋入不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。本发明方法增加了靶材导电、导热性；所得产品靶材与绑定衬管紧密贴合90％；同时具有一定延展性；导电导热性好，成本低。[0005]上述专利中，旋转靶绑定将管靶与背管进行加热，然后将熔融焊料注入绑定间隙如果用铟等金属作为焊料绑定，靶管、背管与铟层贴合效果不够，溅射时局部受热不均，散热不好，易脱靶甚至开裂，特别是陶瓷类靶材，钎焊时对温度控制要求更高。[0006]公开号为CN20191102