一种双工位往复清洗式Mask掩膜板清洗机.pdf
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一种双工位往复清洗式Mask掩膜板清洗机.pdf
本发明公开一种双工位往复清洗式Mask掩膜板清洗机,包括第一清洗主体、回转机构、第二清洗主体、第二清洗主体底座、回转机构底座、旋转台、第一清洗主体底座、电气控制柜、上料车和传送带,所述第二清洗主体底座的一侧连接有回转机构底座,所述回转机构底座的一侧连接有第一清洗主体底座,所述第二清洗主体底座的顶部连接有第二清洗主体,所述回转机构底座的顶部安装有旋转台,所述旋转台的顶部安装有回转机构,所述回转机构底座的内部安装有驱动电机且驱动电机的动力输出端与回转机构相连接,本发明结构合理有效,且体积较大,对物料的清洗效率
一种掩膜板清洗系统.pdf
本发明公开了一种掩膜板清洗系统,利用等离子体真空清洗腔替换了现有的掩膜板清洗系统中的NMP溶液和KOH溶液对掩膜板表面的残留物进行清洗,等离子体可以去除掩膜板表面的有机物并活化无机物,以便在后续的湿式清洗腔中被去除。由于不在使用NMP溶液和KOH溶液进行清洗,从而抑制污染环境的物质排放,可以通过减少废水处理而节省成本;并且在采用干式的等离子体真空清洗代替部分湿式清洗后,也省去了为了避免清洗液之间相互污染而设置冲洗室的必要,因此,可以减少清洗系统所占用的空间,提高运营效率。
一种多槽式配向膜板清洗机.pdf
本发明公开了一种多槽式配向膜板清洗机,包括铝合金支架,所述铝合金支架的底部依次设置有第一浸泡清洗槽、第二浸泡清洗槽、NMP超声波清洗槽和DI超声波清洗槽,所述第一浸泡清洗槽内安装有第一浸泡清洗箱,所述第二浸泡清洗槽内安装有第二浸泡清洗箱,所述NMP超声波清洗槽内安装有NMP超声波清洗箱,所述DI超声波清洗槽内安装有DI超声波清洗箱,所述铝合金支架的底部一侧安装有超声波发生器,所述铝合金支架内安装有安装板,所述安装板上安装有摆动机构,所述DI超声波清洗槽的一侧设置风切干燥槽,所述DI超声波清洗槽临近风切干燥
一种掩膜板的清洗方法及清洗装置.pdf
本发明公开了一种掩膜板的清洗方法及清洗装置,该方法包括以下步骤:将待清洗的掩膜板放入有机清洗剂中进行超音波浸泡清洗,将浸泡清洗后的掩膜板采用所述有机清洗剂进行超音波摇动清洗,将超音波摇动清洗后的掩膜板放入电解液中进行电解处理以及超音波纯水清洗;其中,所述有机清洗剂由以下原料按重量百分比组成:环己酮45‑65%,甲苯0.5‑10%,二丙酮醇2‑15%,丙酮20‑50%。本发明有机清洗剂不会破坏掩膜板的尺寸和而且具有重复使用性,效果得到相关生产厂商的高度认可。对比目前市售有机清洗剂,电解处理步骤前只有一种溶剂
一种OLED掩膜版Open Mask表面镁银材料清洗方法.pdf
本发明公开了一种OLED掩膜版OpenMask表面镁银材料清洗方法,包括以下步骤:步骤10、固定;步骤20、药水配置;步骤30、超声波振板安装;步骤40、去除膜层;步骤50、溢流超声波清洗;步骤60、脱水;步骤70、干燥。本发明通过对药水类型的选择和比例的控制,能够在不损伤产品本体的情况下将OpenMask部件表面的MgAg膜层溶解去除,从而实现OpenMask部件洗净再生、二次利用的目的。