一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113046700A(43)申请公布日2021.06.29(21)申请号201911366659.8(22)申请日2019.12.26(71)申请人山东华光光电子股份有限公司地址250101山东省济南市高新区天辰大街1835号(72)发明人贾旭涛刘琦赵克宁(74)专利代理机构济南诚智商标专利事务所有限公司37105代理人郑宪常(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法(57)摘要本发明公开了条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法，包括工件盘、遮挡板、修正板、镀膜源、镀膜机，镀膜机内部为腔体结构，镀膜源设于腔体结构的内侧底部，工件盘设于腔体结构的上部，工件盘通过转轴与镀膜机上部支架连接，遮挡板设于工件盘下侧，遮挡板通过支撑架固定到腔体的两侧，修正板设于遮挡板下侧并与腔体内侧连接，工件盘通过下方的遮挡板遮挡后露出的部分为镀膜区域。本发明镀膜均匀性好，能够提高条形半导体激光器芯片的质量，提高良品率。解决了现有技术存在的蒸镀均匀性差造成的产品质量差以及影响条形半导体激光器性能的问题。CN113046700ACN113046700A权利要求书1/1页1.一种条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡装置，其特征是，包括工件盘1、遮挡板、修正板、镀膜源、镀膜机，镀膜机内部为腔体结构，镀膜源设于腔体结构的内侧底部，工件盘设于腔体结构的上部，工件盘通过转轴与镀膜机上部支架连接，遮挡板设于工件盘下侧，遮挡板通过支撑架固定到腔体的两侧，修正板设于遮挡板下侧并与腔体内侧连接，工件盘通过下方的遮挡板遮挡后露出的部分为镀膜区域。2.根据权利要求1所述的条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡装置，其特征是，遮挡板与上方的工件盘保持近的距离。3.一种条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡镀膜方法，其特征是，包括以下步骤：a)将条形半导体激光器端面镀膜用工件盘通过遮挡板进行局部遮挡；b)调整条形半导体激光器端面镀膜区域使得其原有中心线向右移动与镀膜源中心线重合，使得镀膜源与条形半导体激光器端面镀膜区域在镀膜时形成一个完整的圆锥面；c)通过镀膜修正板修正后，使得工件盘上条形半导体激光器端面镀膜均匀，条形半导体激光器端面的内圈、中圈、外圈上的产品厚度保持一致；d)通过遮挡板调整条形半导体激光器端面镀膜区域，使得工件盘原有中心线右移与镀膜源中心线重合，镀膜源到工件盘左边角度由大变小，使得镀膜源到镀膜区域镀膜一致性、镀膜的致密性明显提高。4.根据权利要求3所述的条形半导体激光器端面镀膜的半遮挡镀膜方法，其特征是，所述条形半导体激光器端面镀膜区域为通过在腔体内部几何作图计算出来的区域，条形半导体激光器端面镀膜区域的中心线与镀膜源中心线重合。2CN113046700A说明书1/4页一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法技术领域[0001]本发明涉及半导体激光器芯片制造技术领域，尤其涉及一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法。背景技术[0002]条形半导体激光器(LD)具有体积小、重量轻、转换效率高、工作寿命长等优点，被广泛应用于固体激光器泵浦、工业加工、激光医疗和军事等领域，有着非常广泛的应用前景和市场价值。[0003]在条形半导体激光器芯片生产的工艺过程中,针对激光器巴条的端面镀膜是非常重要的工艺步骤之一。针对条形半导体激光器巴条的端面镀膜主要有两个目的：1、实现对腔面的保护,避免激光器端面被大气环境中水气、油污、灰尘等污染，并防止因解离产生的晶体悬挂键与氧化性气体发生反应，而这种反应将降低激光器性能和寿命；2、合理的调整条形激光器两个端面的反射率,优化激光器阈值电流、出射效率，最终实现单面的最大激光功率输出。[0004]中国专利CN101748367公开一种用于半导体激光器腔面镀膜的装置和方法，所述的装置由三个以倾斜角固定在蒸镀平台上的承片台构成，使用时首先将解理出腔面的激光器置于承片台上，腔面贴近承片台边缘；然后利用弹簧片固定激光器，激光器的上表面被弹簧片保护；最后将承片台安装在蒸镀平台上,将安装好的蒸镀平台放入蒸镀腔体中进行蒸镀。在蒸镀过程中，由于激光器上表面被弹簧片覆盖，下表面紧贴承片台，并且激光器腔面与蒸发平面成一定倾斜角，激光器的上下表面都受到保护而不会被蒸镀薄膜，有效避免了蒸镀时引入金属短路或者金属电极被绝缘薄膜覆盖的可能性。但是，该专利的技术存在的问题和不足在于：仅记载利用弹簧片对芯片进行固定，未记载具体的夹持架构，其倾斜的结构造成需要蒸镀的条形半导体激光器端面与蒸发源有一定的角度，蒸镀均匀性受到很大的影响。[0005