电极的激光开槽工艺用图案夹具及配备其的激光开槽系统.pdf
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电极的激光开槽工艺用图案夹具及配备其的激光开槽系统.pdf
本发明涉及一种电极的激光开槽工艺用图案夹具及配备其的激光开槽系统,其相对于地面水平地照射激光,在电极薄膜的一侧边对电极片进行开槽加工,从而容易去除在开槽加工工艺中产生的废料及异物,可提高生产力。根据本发明的电极的激光开槽工艺用图案夹具,特征在于,包括:第一提花滚筒,其设置为在外周面贯通地形成有激光通过的图案孔的圆盘型,支撑电极薄膜的一侧边部;圆盘型的第二提花滚筒,其与所述第一提花滚筒隔开一定距离而相面对地设置,支撑电极薄膜的一侧边部;及第一导向辊和第二导向辊,其在所述第一提花滚筒和第二提花滚筒之间沿同轴配
晶圆激光开槽工艺.pdf
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一种激光开槽用的下料组件.pdf
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全自动晶圆紫外激光开槽设备.pdf
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