磨削方法、磨削装置及用于磨削装置的电极.pdf

本发明公开磨削装置、磨削方法以及电极，所述磨削装置包括：多轮式砂轮；以及电极，其布置为以预定间隔与所述多轮式砂轮的磨削作用面相对，其中，在电解修整所述多轮式砂轮的所述磨削作用面的同时磨削并加工工件，所述电解修整是通过将导电的加工液供给在所述电极的电极作用面和所述多轮式砂轮的所述磨削作用面之间并将电压施加在所述多轮式砂轮和所述电极之间来进行的，其中，所述电极具有层叠体，在所述层叠体中，多个电极板被多个绝缘板交替地夹在中间，所述多个电极板的所述电极作用面布置为与每一个所述磨轮的所述磨削作用面相对

2023-10-22

10

1.1MB

线电极磨削装置.pdf

本发明提供了一种小型化制备微细电极的线电极磨削装置。包括：带压簧放丝结构，导电块，导轮，带刃口的固定导轮，浮动轮，过渡轮，以及收丝部分。电极丝由放丝轮导出，经过导电块，导轮，在带刃口的固定轮的刃口处完成放电加工，再经过导轮，浮动轮和过渡轮到达收丝轮，最后由电机带动收丝轮收丝完成电极丝的整个走丝过程。带压簧放丝结构能实现预先设定放丝所需的牵引力。浮动轮能够保证电极丝的张力自适应的保持为预设值。整个装置结构简单，布局紧凑，能保证平稳走丝，实现较好的加工精度。

2023-10-18

10

1.3MB

圆筒磨削装置及磨削方法.pdf

一种圆筒磨削装置，用于磨削圆柱状晶棒的侧面，其特征在于：具备定心机构，其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成，使前述滚轮相对于前述晶棒从水平方向作进退移动而可作压接动作，并且，先将前述圆柱状晶棒直立置放在平台上，接着将前述已直立置放的晶棒，从前述平台移载至夹具上，然后利用一对夹具将前述晶棒两侧的端面保持在垂直方向，接着一边利用旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转，一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动，而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面，由此，使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致，之后利

2023-10-22

10

470KB

磨削装置以及磨削方法.pdf

一种磨削装置及磨削方法，能在不使装置变大的前提下，在圆盘状的外周区域上形成了加强用凸部的半导体晶片上抑制对加强用凸部磨削时损伤半导体晶片。半导体晶片表面具有形成有器件(61)的器件形成区域(62)及其周围的外周区域(63)，以去除背面的与器件形成区域(62)对应的区域且从背面的与外周区域对应的区域突出加强用凸部(64)的方式形成凹部(65)，将半导体晶片的表面载置在卡盘(34)的吸附保持面(34a)上，以磨削砂轮(54)的磨削面(54a)与内底面(65a)的间隔相对于半导体晶片的凹部的内底面(65a)向凹

2023-10-22

10

856KB

磨削装置的控制装置、程序及磨削方法.pdf

本发明提供一种能够抑制热量积蓄于工件上并且能够减少空切时间的磨削装置的控制装置。磨削装置对工件反复进行使砂轮沿工件的表面内的一个方向(即，进给方向)相对移动的进给动作和使砂轮沿工件的表面的与进给方向交叉的换行方向相对移动的换行动作从而对工件进行磨削加工。磨削装置的控制装置执行接触检测控制，不进行换行动作而反复进行进给动作和使砂轮靠近工件的进刀动作直至检测出砂轮接触到工件为止。而且，控制装置还执行磨削控制，在检测出了砂轮与工件的接触之后，反复进行进给动作和换行动作从而进行磨削加工。

2023-08-26

10

1KB