脆硬材料磨削机床.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101875181A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101875181A(43)申请公布日2010.11.03(21)申请号201010199859.1(22)申请日2010.05.31(71)申请人青岛理工大学地址266033山东省青岛市抚顺路11号(72)发明人李长河(51)Int.Cl.B24B19/00(2006.01)B24B41/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称脆硬材料磨削机床(57)摘要本发明涉及一种机械设备，即一种脆硬材料磨削机床，包括机架和磨头，其特征在于：所说的磨头有两个(8、9)，相对安装在机架(1)上，分别由不同的传动装置带动旋转，其中至少有一个磨头设有进给装置，两个磨头之间设有工件卡紧机构。有益效果是：能够实现双面磨削，提高加工面之间的平行度和厚度尺寸精度；行星轮安装方便，可同时加工多个工件；工件表面加工轨迹双向交叉，去屑力强而均匀，表面平整度高；采用环状卡具，适于大小不同的工件，而且施力均匀，避免工件的装夹变形；装有在线检测装置，实行自动控制，提高加工效率和表面质量。CN10875ACN101875181A权利要求书1/1页1.一种脆硬材料磨削机床，包括机架和磨头，其特征在于：所说的磨头有两个(8、9)，相对安装在机架(1)上，分别由不同的传动装置带动旋转，其中至少有一个磨头设有进给装置，两个磨头之间设有工件卡紧机构。2.根据权利要求1所述的脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的磨头有上磨头(8)和下磨头(9)，上下相对安装在机架(1)上，机架(1)有两支竖立的导轨(2)，导轨(2)上各装配一支可上下滑动的滑柱(3)，两滑柱(3)上端刚连一支横梁(4)，横梁(4)中部上方装有上磨头电机(5)，上磨头电机(5)的动力输出轴向下穿过横梁(4)并连接上磨头(8)；机架(1)下部设有平台(11)，平台(11)上面装有下磨头电机(12)，下磨头电机(12)的动力输出轴上端装配下磨头(9)，下磨头(9)上面设有工件卡紧装置；横梁(4)下面两侧各连接一支进给丝杠(10)，进给丝杠(10)下端穿过平台(11)，与进给齿轮(14)的中心螺孔相配合，进给齿轮(14)由平台(11)下面的进给电机(13)带动。3.根据权利要求2所述的脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的下磨头(9)是一个由中心齿轮(19)、行星齿轮(20)和外齿圈(21)组成的行星轮系，其中，中心齿轮(19)与下磨头电机(12)的动力输出轴相固连，外齿圈(21)为内齿环，其内环直径大于中心齿轮(19)的外径，外齿圈(21)套装在中心齿轮(19)的外面，通过支架(15)与机架(1)相连；中心齿轮(19)与外齿圈(21)之间有一个或多个行星齿轮(20)，行星齿轮(20)的中孔为工件卡装口(24)，中心齿轮(19)下面装有环状磨片(17)，磨片(17)的上表面与行星齿轮(20)的下端面相对。4.根据权利要求3所述的脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的行星齿轮的工件卡装口(24)外围开有卡簧槽(25)，卡簧槽(25)内配装多半环状卡簧(23)，卡簧(23)一端铰链在卡簧槽(25)槽底上，另一端外侧与铰链在卡簧槽(25)槽底上的偏心轮状卡锁(26)的外周表面为自锁配合。5.根据权利要求1所述的脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的机架(1)上还设有自动控制装置。6.根据权利要求5所述的脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的自动控制装置是装在上磨头电机(5)动力输出轴上的压力传感器(6)。7.根据权利要求6所述的一种芯片双面研抛机，其特征在于：所说的压力传感器(6)是一种声波发射传感器。8.根据权利要求5所述的一种脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说自动控制装置是装在横梁(4)下面以及下磨头(9)上面的位置传感器(7)。9.根据权利要求8所述的一种脆硬材料磨削机床，其特征在于：所说的位置传感器(7)是一种激光发射器和接收器。2CN101875181A说明书1/3页脆硬材料磨削机床技术领域[0001]本发明涉及一种机械设备，即一种脆硬材料磨削机床。背景技术[0002]随着现代科学技术及产业化的发展，陶瓷、单晶硅、人工晶体、红蓝宝石和光学玻璃等硬脆材料，在电子、光学、仪器仪表、航天航空、民用等领域获得了日益广泛的应用。这些材料在加工过程中多要进行高精度的研磨抛光。其中，许多片状部件还需要进行双面磨抛。如大规模集成电路基片的加工，对各加工面的平面度、粗糙度以及各面之间的平行度、厚度尺寸公差等参数都有极高的精度要求。显然，实现多侧面同时加工，对于提高多侧面形状和位置的精度具有重要意义。可是，目前能够同时研磨多个侧面的设备均属于游离磨粒加工设备，靠游离分散的磨粒作自由滑动、滚动和冲击来完成研磨过