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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102268646A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102268646A(43)申请公布日2011.12.07(21)申请号201110167211.0(22)申请日2011.06.21(71)申请人深圳开发磁记录股份有限公司地址518000广东省深圳市福田区彩田路7006号(72)发明人李维民戚祖强赵艳郭爱青(74)专利代理机构深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司44232代理人周惠来(51)Int.Cl.C23C14/32(2006.01)C23C14/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法(57)摘要一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法,该制造方法包括采用不锈钢材质制造出齿轮的主体的过程,还包括在该齿轮的主体表面进行真空电弧离子镀CrN层的过程,该CrN层的厚度为4-19µm、表面硬度为1400-2300HV。该齿轮包括不锈钢材质的主体和设置在该主体表面的Cr过渡层、CrN层,该Cr过渡层的厚度为200-1000nm。本发明可以提高化学机械抛光设备的中心齿轮的耐蚀性及耐磨性,增强其使用寿命,从而降低化学机械抛光工艺的成本。CN102684ACCNN110226864602268653A权利要求书1/1页1.一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮的制造方法,包括采用不锈钢材质制造出齿轮的主体的过程,其特征在于,还包括在该齿轮的主体表面进行真空电弧离子镀CrN层的过程,该CrN层的厚度为4-19µm、表面硬度为1400-2300HV。2.依据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在真空电弧离子镀CrN层之前先真空镀Cr过渡层,该Cr过渡层的厚度为200-1000nm。3.依据权利要求2所述的制造方法,其特征在于,在进行真空镀Cr过渡层和真空电弧离子镀CrN层时,该齿轮的主体安装于真空室内可转动的支架上,靶材为金属Cr,该齿轮的主体的齿面正对Cr靶,该齿轮的主体与脉冲负偏压电源装置连接。4.依据权利要求3所述的制造方法,其特征在于,该真空镀Cr过渡层的过程具体包括:将真空室内背底真空抽至10-3Pa以下,并打开加热器使该齿轮的主体温度升至300℃,烘烤5min;通入一定流量的Ar,使真空室压力控制在2-3Pa,打开脉冲负偏压电源,占空比为30%,频率为30kHz,电压由100V逐渐加到1500V,产生Ar离子,对该齿轮的主体表面进行轰击,累计时间为30min,以清洁与活化该齿轮的主体表面;减小脉冲负偏压电源至100V,并关闭Ar,使真空恢复至10-3Pa以下;通入一定流量的Ar,使真空室压力控制在(3-5)×10-1Pa,打开离子源电源,工作电压为20-80V,工作电流为40-100A,同时,逐渐增加脉冲负偏压电源至200V,时间为5-15min,在该齿轮的主体表面镀上一层厚度为200-1000nm金属Cr,以提高结合力。5.依据权利要求3所述的制造方法,其特征在于,该真空电弧离子镀CrN层的过程具体包括:打开N2阀门,同时调节Ar和N2流量,使N2比例为10-40%,真空室压力控制在(3-5)×10-1Pa,在该齿轮的主体表面反应沉积CrN,时间为6-12小时,厚度为4-19µm;关闭离子源电源、脉冲负偏压电源、加热器电源以及Ar与N2阀门,让该齿轮温度下降至35℃以下。6.依据权利要求1至5任一所述的制造方法,其特征在于,在真空电弧离子镀CrN层之后,还包括对齿轮的表面进行抛光处理的过程。7.依据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,该抛光过程采用至少两齿轮相互对磨,并使含有金刚石颗粒的溶液流到齿轮的齿面。8.一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮,包括不锈钢材质的主体,其特征在于,还包括设置在该主体表面的Cr过渡层以及设置在该过渡层上的CrN层,该Cr过渡层的厚度为200-1000nm,该CrN层的厚度为4-19µm、表面硬度为1400-2300HV。9.依据权利要求8所述的耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮,其特征在于,该CrN层的厚度为8-16µm、表面硬度不小于1800HV。10.依据权利要求8所述的耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮,其特征在于,该主体是304或316奥氏体不锈钢材质的;该Cr过渡层采用真空镀工艺成型;该CrN层是采用真空电弧离子镀工艺成型。11.一种化学机械抛光设备,包括一中心齿轮,其特征在于,该中心齿轮是如权利要求8至10任一所述的耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮。2CCNN110226864602268653A说明书1/4页耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法技术领域[0001]本发明涉及化学机械抛光设备用的齿轮,尤其涉及耐磨耐腐蚀的不锈钢齿轮。背景技术[0002]目前化学机械抛光设备,比如:硬盘盘片的抛光设备,通常由中心齿轮及其驱动、外部环齿轮及