陶瓷基板平面轮廓扫描系统及扫描方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102506747A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102506747A(43)申请公布日2012.06.20(21)申请号201110297569.5(22)申请日2011.10.08(71)申请人苏州赛琅泰克高技术陶瓷有限公司地址215122江苏省苏州市工业园区葑亭大道728号(72)发明人李江锋龚卫忠秦乐宁黄明臻邓磊周惠全谢怀婷(74)专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司32102代理人陆明耀陈忠辉(51)Int.Cl.G01B11/24(2006.01)G01B11/30(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称陶瓷基板平面轮廓扫描系统及扫描方法(57)摘要本发明揭示了一种陶瓷基板平面轮廓扫描系统，包括轮廓扫描仪及计算机；轮廓扫描仪包括一设置有导轨组件和可移动的设置在导轨组件上的激光测距仪，激光测距仪与线排连接，扫描仪本体底板上固定有运动控制模块、电源模块及量测设置模块，运动控制模块与电源模块设置于导轨组件的一侧，量测设置模块设置于另一侧；扫描仪本体上设置有数据转换传输接口，数据转换传输接口通过数据线与计算机连接；扫描仪本体还固定有一上盖板，上盖板中心开设有一激光测距孔，上盖板可旋转的设有可调节定位卡块，激光测距孔设置在导轨组件的正上方。本发明通过激光检测形成的曲线判断陶瓷基板曲翘，准确度高，整个检测过程用时短，效率得到大大的提高。CN1025674ACN102506747A权利要求书1/1页1.一种陶瓷基板平面轮廓扫描系统，其特征在于：包括一轮廓扫描仪及通过数据线与轮廓扫描仪相连接的计算机；所述轮廓扫描仪包括一扫描仪本体，所述扫描仪本体内设置有一导轨组件和激光测距仪，所述激光测距仪与线排连接，所述激光测距仪可移动的设置在所述导轨组件上；所述扫描仪本体的底板上还固定有运动控制模块、电源模块及量测设置模块，所述运动控制模块与电源模块设置于所述导轨组件的一侧，所述量测设置模块设置于导轨组件的另一侧；所述扫描仪本体上设置有数据转换传输接口，所述数据转换传输接口连接有数据线，所述数据线的另一端与计算机连接；所述扫描仪本体还固定有一上盖板，所述上盖板中心开设有一激光测距孔，所述上盖板上磁力吸附有可调节定位卡块，所述可调节定位卡块设置在激光测距孔的外围，所述激光测距孔设置在导轨组件的正上方。2.根据权利要求1所述的陶瓷基板平面轮廓扫描系统，其特征在于：所述导轨组件固定于导轨支撑板上，所述导轨支撑板固定于扫描仪本体内。3.根据权利要求2所述的陶瓷基板平面轮廓扫描系统，其特征在于：所述可调节定位卡块设置有四块，所述可调节定位卡块上开设有用于放置陶瓷基板的置板部，所述置板部向内相对设置，相邻的置板部连线轮廓与陶瓷基板外轮廓相当。4.根据权利要求3所述的陶瓷基板平面轮廓扫描系统，其特征在于：所述导轨组件包括驱动电机和螺杆组件，所述螺杆组件上设置有螺杆组件移动块，所述激光测距仪安装在所述螺杆组件移动块上。5.一种陶瓷基板平面轮廓扫描系统的扫描方法，其特征在于：包括如下步骤，1）预设定步骤，通过运动控制模块预先设定导轨组件的移动距离及速度，先沿单一方向设定移动距离，下次测量时为沿反向移动相同距离；通过量测设定模块预先设定激光测距仪的测量频率及精度参数，测量精度小于10μ；2）调整步骤，根据待测量陶瓷基板的尺寸，调整好可调节定位卡块的位置，将待测量陶瓷基板放置于可调节定位卡块上，启动按钮，进行测量；3）扫描步骤，激光测距仪在导轨组件上按设定的速度匀速移动至设定的距离，最后得到一组对待测量陶瓷基板的距离数据，反馈到计算机中；4）处理步骤，将步骤3）中得到陶瓷基板平面轮廓的曲翘度状况反应在计算机显示器上。6.根据权利要求5所述的陶瓷基板平面轮廓扫描系统的扫描方法，其特征在于：所述步骤4）具体包括如下步骤，41）数据修正步骤，以测量起点为0点，将测量起点设定为激光测距至待测量陶瓷基板的距离为标准距离，对数据修正；42）处理判定步骤，将数据绘制成以0点为基准的上下偏移的形变曲线，同时形成图表；由待测量陶瓷基板特性决定，形变曲线呈凹、凸两种类型，检视形变曲线，显示为凸起且为超限的曲线表明陶瓷基板符合要求，反之为不符合要求。2CN102506747A说明书1/3页陶瓷基板平面轮廓扫描系统及扫描方法技术领域[0001]本发明涉及一种陶瓷基板平面轮廓扫描系统，尤其是涉及一种用于对陶瓷基板平面的曲翘进行扫描检测系统及扫描方法。背景技术[0002]陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基片表面(单面或双面)上的特殊工艺板，是大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。而陶瓷基板的平整性或曲翘度对产品的质量好坏有着决定性影响，目前基本采用