一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102814875102814875B(45)授权公告日2015.01.07(21)申请号201110150733.X审查员朱翠平(22)申请日2011.06.07(73)专利权人有研新材料股份有限公司地址100088北京市西城区新街口外大街2号(72)发明人于晋京张立李晨安瑞阳(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人郭佩兰(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)(56)对比文件JP2005-14157A,2005.01.20,全文.EP0745447A1,1996.12.04,全文.JP2010-253652A,2010.11.11,US2005/0183713A1,2005.08.25,全文.CN101659089A,2010.03.03,全文.权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法(57)摘要一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法，它包括：在由多个导轮构成的导轮套组中，确定每个导轮第一个槽的位置，且各导轮在机床中的安装位置按照钢线接触导轮的顺序确定导轮序号。本实用新型的优点是：通过分解超厚硅片的槽距，减小钢线与导轮夹角，避免跳线发生，扩大产品能力。并且本方法能够适用于4、5、6、8、12寸或非标尺寸的各种材料的切片加工。CN102814875BCN1028475BCN102814875B权利要求书1/1页1.一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法，其特征在于：它包括：在由多个导轮构成的导轮套组中，确定每个导轮第一个槽的位置，且各导轮在机床中的安装位置按照钢线接触导轮的顺序确定导轮序号；所述的确定每个导轮第一个槽的位置的方法是：设定A为第一个导轮入线端第一个槽距离导轮基准面的距离，其数值为：0mm<A<10mm；而其他导轮入线端第一个槽距离导轮基准面的距离B的数值存在下列关系：B＝A+(C-1)*P/N，其中，N为导轮总个数：N>1；P为根据片厚对应的导轮槽距：0mm<p<20mm；C为导轮序号。2CN102814875B说明书1/2页一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法技术领域[0001]本发明涉及一种在多线切割中切割超厚产品的导轮(主辊或者槽轮，以下简称导轮)开槽方法，特别是在半导体材料加工中应用多线切割机将棒材切制成片的生产过程。提高生产效率，扩大设备能力的一种方法。背景技术[0002]随着半导体产业的不断发展，各下游厂商对衬底材料提出了更高的要求。为了各领域的应用，出现了一种超厚产品的需求。目前多采用多线切割方法将待加工棒材切割成具有一定厚度的片状产品。在多线切割中通过在导轮上刻有等距、等深的V型槽(以下简称线槽)，且每个导轮上起始第一个槽的位置都相同。切割时由一根完整的钢线从机床第一个导轮的第一个槽开始按照顺时针或逆时针的顺序分别缠绕至其他导轮，而当钢线再次回到第一个导轮时由于导轮的第一个槽中有线，则钢线必须沿该导轮的第2个槽开始缠绕，当钢线将导轮中所有槽都绕满时，在导轮之间既形成了密布钢线的线网，使用该线网进行切割作业(如图1所示)。由于用于切割的线网为一根钢线在多个导轮上缠绕而成，钢线会在其中某个导轮上与该导轮的线槽形成夹角，从而完成线网的缠绕。例如图1所示示例，第四个导轮和第一个导轮上的钢线就与导轮上的线槽形成了夹角。如果该角度过大，则将引起跳线发生。[0003]多线切割加工中其加工产品的厚度取决于导轮槽距，如果加工超厚产品，势必增大导轮槽距，同时必然会增大切割线与导轮线槽之间的夹角。例如切割厚度为8mm厚的产品，其导轮槽距就应该为8mm左右，则其钢线与导轮之间的夹角将达到1°左右。如此大的夹角将会导致跳线发生，致使无法加工，产品品种受限。发明内容[0004]本发明的目的是提供一种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法，本方法可使系统中每只导轮上的钢线都与线槽形成一个较小的夹角，避免在其中某一个导轮上形成过大的夹角而造成跳线，本方法能够适用于4、5、6、8、12寸或非标尺寸的各种材料的切片加工。[0005]为达到上述发明目的，本发明采用以下技术方案：[0006]这种在多线切割中切割超厚产品的导轮开槽方法，它包括：在由多个导轮构成的导轮套组中，确定每个导轮第一个槽的位置，且各导轮在机床中的安装位置按照钢线接触导轮的顺序确定导轮序号。[0007]所述的确定每个导轮第一个槽的位置的方法是：设定A为第一个导轮入线端第一个槽距离导轮基准面的距离，其数值为：0mm＜A＜10mm；而其他导轮入线端第一个槽距离导轮基准面的距离B的数值存在下列关系：B＝A+(C-1)*P/N，其中，N为导轮