改进真空镀膜机传动机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102899618A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102899618A(43)申请公布日2013.01.30(21)申请号201110210235.X(22)申请日2011.07.26(71)申请人御林汽配（昆山）有限公司地址215325江苏省苏州市昆山市花桥镇兆丰路８号(72)发明人黄水祥(74)专利代理机构昆山四方专利事务所32212代理人盛建德(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称改进真空镀膜机传动机构(57)摘要一种改进真空镀膜传动机构包括第一旋转支架、第二旋转支架以及驱动第二旋转支架连带第一旋转支架往复转动的马达，第一、第二旋转支架位于真空腔室内，第一旋转支架包括第一上内环、第一上外环、两端分别连接于第一上内环和第一上外环并呈辐射状分布的多个辐条以及第一下环，第一上外环与第一下环通过多个并行的第一直立杆连接固定，第二旋转支架包括第二上环和第二下环，第二上环与第二下环间通过多根第二直立杆连接固定，第二下环设有便于对应第一直立杆穿过的弧形孔，第一上内环和第一上外环间设有多个可固定镀膜工件的托盘，托盘通过中心轴转动固定于第一上内环和第一上外环间，托盘上中心转轴对应端与第二上环分别设有相互啮合的齿条和齿轮。CN102896ACN102899618A权利要求书1/1页1.一种改进真空镀膜传动机构，包括第一旋转支架、第二旋转支架以及能驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动的马达(22)，该第一、第二旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：1)该第一旋转支架包括固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)的第一上内环(9)、位于该第一上内环(9)外围的第一上外环(10)、两端分别连接于该第一上内环(9)和第一上外环(10)并呈辐射状分布的多个辐条(25)以及第一下环(5)，该第一上外环(10)与该第一下环之间通过多个并行的第一直立杆(6)连接固定，对应该第一下环的内边缘，该底座设有多个便于该第一下环(5)转动的滚轮(4)；2)该第二旋转支架包括位于该第一上外环(10)外围的第二上环(14)以及位于该第一下环(5)上方的第二下环(16)，该第二上环(14)与该第二下环(16)之间通过多根并行的第二直立杆(17)连接固定，对应该多根第一直立杆(6)，该第二下环(16)上分别设有便于第一直立杆(6)穿过的多个弧形孔(18)，并且该第一下环(5)与该第二下环(16)之间还分别设有便于滑动的滚轮和滑槽；3)该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间还设有多个可固定镀膜工件的托盘(11)，该多个托盘分别通过中心轴转动固定于该第一上内环(9)和第一上外环(10)之间，并且该托盘(11)上中心转轴对应端与该第二上环(14)还分别设有相互啮合的齿条(15)和齿轮(13)。2.根据权利要求1所述的改进真空镀膜传动机构，其特征在于：该马达(22)通过紧配于该第二下环(16)内边缘的驱动滚轮(21)，驱动该第二旋转支架连带该第一旋转支架往复转动。3.根据权利要求1或2所述的改进真空镀膜传动机构，其特征在于：该多个辐条(25)均匀分布于该第一上内环(9)和第一上外环(10)，该多个托盘(11)分别位于该第一上内环(9)、第一上外环(10)以及相邻的两辐条(25)之间。4.根据权利要求3所述的改进真空镀膜机传动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)固定于一个连接轴(24)的上端，该连接轴(24)中部固定于该底座(1)而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达(22)驱动转动。5.根据权利要求4所述的改进真空镀膜机传动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)为齿轮，该第二下环(16)内边缘设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达(22)为步进马达。2CN102899618A说明书1/3页改进真空镀膜机传动机构技术领域[0001]本发明属于真空镀膜设备，特别涉及一种通过转换镀膜工件位置实现蒸发镀膜的加工设备。背景技术[0002]真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。[0003]对于蒸发镀膜，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片(或称工件)表面，通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要取决于：工件材料与靶材的晶格匹配程度；工件表面温度；靶材蒸发功率和速率；镀膜真空度；镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度，以及靶材蒸发条件后，就需要按照工件特定要求