一种智能真空镀膜机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108315695A(43)申请公布日2018.07.24(21)申请号201810419598.6(22)申请日2018.05.04(71)申请人昆山木利机械设计有限公司地址215300江苏省苏州市昆山开发区春旭路18号联彩商务中心1305室(72)发明人李科慧(74)专利代理机构苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙)32312代理人李杨(51)Int.Cl.C23C14/22(2006.01)C23C14/50(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图1页(54)发明名称一种智能真空镀膜机构(57)摘要本发明公开了一种智能真空镀膜机构，用于对具有中心孔的薄板状工件进行镀膜，包括供料机构、第一传输装置、处理炉、第二传输装置以及收料机构。本发明中，供料机构上的工件在第一传输装置的作用下输送至加热炉的进料孔正上方，经升降平台接收，放入加热炉内，通过第一真空盖将上述的进料孔封闭，之后通过真空泵对加热炉内的空间进行抽真空，当达到真空条件后，加热炉内的加热器加热，将工件表面的覆膜融化完成镀膜，之后第一真空盖升起，升降平台将工件推出进料孔，由第二真空盖吸附，再通过旋转第二传输装置将该第二真空盖输送至输送机构的正上方，最第二真空盖将工件放下，使工件落入输送机构上，如此循环，无需人工操作。CN108315695ACN108315695A权利要求书1/2页1.一种智能真空镀膜机构，用于对具有中心孔的薄板状工件(2)进行镀膜，该工件(2)的上表面贴附由薄膜，该其特征在于，还包括：处理炉(100)，该处理炉(100)具有空腔，其顶端设有该空腔连通的进料孔(102)，所述处理炉(100)包括位于所述进料孔(102)正下方并由第一升降装置驱动升降的升降平台(104)，位于所述处理炉(100)内的加热器(106)以及用于对处理炉内进行抽气的抽空泵，所述升降平台(104)的水平最大直线尺寸小于所述进料孔(102)的直径；供料机构(200)，其位于所述处理炉(100)的一侧，所述供料机构(200)用于所述工件(2)的水平放置；收料机构(300)，其位于所述处理炉(100)的另一侧，所述收料机构(300)设有用于所述工件(2)水平放置的支撑台；位于所述处理炉(100)与所述供料机构(200)之间的第一传输装置(400)，所述第一传输装置(400)包括能够做升降运动和旋转运动的第一连接板(402)、设置在所述第一连接板(402)两端的第一真空盖(404)，以及设置在所述第一真空盖(404)底部，用于吸附与之接触的所述工件(2)的吸盘(406)，所述第一真空盖(404)能够分别运动至所述供料机构(200)与所述进料孔(102)的正下方，所述第一真空盖(404)通过插入所述进料孔(102)或者与所述进料孔(102)端面贴合从而将所述进料孔(102)闭塞；位于所述处理炉(100)与所述收料机构(300)之间的第二传输装置(500)，所述第二传输装置(500)包括能够做升降运动和旋转运动的第二连接板(502)、设置在所述第二连接板(502)两端的第二真空盖(504)，以及设置在所述第二真空盖(504)底部，用于吸附所述工件(2)的吸盘(406)，所述第二真空盖(504)能够分别运动至所述收料机构(300)与所述进料孔(102)的正下方。2.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述第一传输装置(400)和第二传输装置(500)均包括：用于所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)在竖直方向上的支撑，并能够驱动所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)做升降运动的第二升降装置(4)；固定连接在所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)底部的套管(6)，该套管(6)为空心环状结构，其内壁转动连接在所述第二升降装置(4)的顶部；用于驱动所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)做定角度、间歇旋转运动的旋转机构(10)。3.根据权利2所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述第二升降装置(4)为气缸或者油缸，其包括：缸体(12)；能够部分伸出所述缸体(12)的缸臂(14)，所述缸臂(14)的顶部通过转动轴承(16)连接在所述套管(6)内部。4.根据权利要求3所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述旋转机构(10)包括：固定设置的伺服电机(18)，该伺服电机(18)能够驱动电机轴(20)做180度定角度间歇运动；同轴心、固定连接在所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)上的输出轴(22)，所2CN108315695A权利要求书2/2页述输出轴(22)与电机轴(20)通过传动齿轮传动连接。5.根据权利4所述的一