一种钌及钌合金靶材的加工方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102922231A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102922231A(43)申请公布日2013.02.13(21)申请号201210411249.2(22)申请日2012.10.25(71)申请人昆明贵金属研究所地址650106云南省昆明市高新技术开发区科技路988号（昆明贵金属研究所)(72)发明人王传军管伟明张昆华杨杰闻明毕珺谭志龙陈松张俊敏李艳琼程其兵(74)专利代理机构昆明今威专利商标代理有限公司53115代理人赛晓刚(51)Int.Cl.B23P15/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书55页页附图附图11页(54)发明名称一种钌及钌合金靶材的加工方法(57)摘要本发明公开了一种钌及钌合金靶材的加工方法，包括：提供钌及钌合金靶材坯料；对所述的钌及钌合金靶材坯料进行车削，所述车削采用HRC大于70的刀具，所述车削时加工的转速为50-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削加工时砂轮的线速度为20-45米/秒；对磨削后的靶材进行超声清洗。本发明提供的钌及钌合金靶材的加工方法，减少了崩边、掉块等现象的发生，减少了应力层、避免了微裂纹的产生，使靶材的表面粗糙度较低，同时具有较高的加工效率。CN10293ACN102922231A权利要求书1/1页1.一种钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于含有以下工艺步骤：制备钌及钌合金靶材坯料；对钌及钌合金靶材坯料进行车削，对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，对磨削后的靶材进行超声清洗，所述的钌及钌合金靶材坯料为采用粉末冶金方法制备而成，所述车削采用HRC大于70的刀具，所述车削时加工的转速为50-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-45米/秒。2.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述粉末冶金方法包括真空热压烧结、热等静压烧结、放电等离子体烧结或直流加热加压烧结。3.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，特征在于：所述车削采用HRC大于70的刀具为硬质合金刀具或立方氮化硼刀具，所述的硬质合金刀具为WC基硬质合金刀具，所述的车削采用的刀具参数为：刀具前角的范围为0-10o，后角的范围为0-8o，主偏角范围为45-95o，刀尖修圆半径为0.2-1.2mm。4.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述的磨削采用氧化铝砂轮或者金刚石砂轮或者立方氮化硼砂轮。5.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：还包括：对经磨削加工的样品进行布轮抛光。6.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为100-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.2-0.4mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用氧化铝砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-40米/秒。7.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50-100转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用金刚石砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.01mm，所述磨削的砂轮线速度为20-30米/秒。8.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：对所述的钌及钌合金靶材坯料进行车削，所述车削采用HRC大于70立方氮化硼刀具，所述车削时加工的转速为50-200转/分钟，所述车削时的进刀量为0.1-0.5mm；对车削后的钌及钌合金靶材进行磨削，所述的磨削采用立方氮化硼砂轮，所述磨削时的进刀量0.005-0.02mm，所述磨削的砂轮线速度为20-45米/秒。9.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50-100转/分钟，所述车削时的进刀量为0.01mm、0.2或0.4mm；所述的磨削采用氧化铝砂轮，所述磨削的砂轮线速度为30-40米/秒。10.根据权利要求1所述的钌及钌合金靶材的加工方法，其特征在于：所述车削时加工的转速为50转/分钟，所述磨削时的进刀量0.01mm，所述磨削的砂轮线速度为45米/秒。2CN102922231A说明书1/5页一种钌及钌合金靶材的加工方法技术领域[0001]本发明涉及靶材制备领域，尤其是钌及钌合金靶材的加工方法。背景技术[0002]钌及钌合金薄膜作为一种功能膜在磁记录存储和半导体等行业具有广泛的应用。比如，在机械硬盘驱动器中，当前主流的记录方式是垂直磁记录技术。该技术