预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共13页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102950660A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102950660A(43)申请公布日2013.03.06(21)申请号201110248202.4(22)申请日2011.08.26(71)申请人昆山中辰矽晶有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市开发区高科技工业园汉浦路303号(72)发明人陈钰麟刘建亿(74)专利代理机构昆山四方专利事务所32212代理人盛建德(51)Int.Cl.B28D7/00(2006.01)B28D5/04(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书55页页附图附图55页(54)发明名称线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置(57)摘要本发明公开了一种线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置,主要是采用由出线端向入线端进行切割加工成型出若干环形的沟槽的方法,利用该方法所制作的主轮结构,其靠近出线端的环形的沟槽具有对称型态,可以是正V型或U型,可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材,进而提高晶圆切片的良率,并延长主轮结构的使用寿命,进而达到节省成本的目的,本发明所提供的线切割装置是具有本发明主轮结构的线切割装置,具有本发明主轮结构所具有的优点及功效。CN102956ACN102950660A权利要求书1/2页1.一种线切割装置的主轮结构,所述主轮具有主轮本体,所述主轮本体具有相对的一个入线端和一个出线端,所述主轮本体上位于所述入线端和所述出线端之间的部位开设有若干平行的环形的沟槽,其特征在于:若干环形的沟槽之中靠近所述出线端的环形的沟槽为第一沟槽,若干环形的沟槽之中靠近所述入线端的环形的沟槽为第二沟槽,所述第一沟槽为具有对称型态的沟槽。2.根据权利要求1所述的线切割装置的主轮结构,其特征在于:所述具有对称型态的第一沟槽为正V型沟槽,每个所述正V型的第一沟槽具有槽底面和相对的两槽壁,所述第一沟槽的槽底面为平面状和圆弧状两者之一,每个所述第一沟槽的相对的两槽壁的夹角为30°至75°,每个所述第一沟槽的沟深为160um至300um,相邻两第一沟槽的间距为0.250mm至0.370mm。3.根据权利要求1所述的线切割装置的主轮结构,其特征在于:所述具有对称型态的第一沟槽为U型沟槽,每个所述U型的第一沟槽具有槽底面,所述第一沟槽的槽底面为平面状和圆弧状两者之一。4.根据权利要求1至3之一所述的线切割装置的主轮结构,其特征在于:所有环形的沟槽为等间距排布。5.一种线切割装置的主轮结构的制作方法,其特征在于:所述主轮具有主轮本体,所述主轮本体具有相对的一个入线端和一个出线端,在所述主轮本体上用切割的方式从所述出线端开始向所述入线端加工成型出若干环形的沟槽,若干环形的沟槽之中靠近所述出线端的环形的沟槽为第一沟槽,若干环形的沟槽之中靠近所述入线端的环形的沟槽为第二沟槽,所述第一沟槽为具有对称型态的沟槽。6.根据权利要求5所述的线切割装置的主轮结构的制作方法,其特征在于:所述切割的方式为机械切割加工。7.根据权利要求5或6所述的线切割装置的主轮结构的制作方法,其特征在于:所述具有对称型态的第一沟槽为正V型沟槽,每个所述正V型的第一沟槽具有槽底面和相对的两槽壁,所述第一沟槽的槽底面为平面状和圆弧状两者之一,每个所述第一沟槽的相对的两槽壁的夹角为30°至75°,每个所述第一沟槽的沟深为160um至300um,相邻两第一沟槽的间距为0.250mm至0.370mm。8.一种线切割装置,包括至少两个相对设置的导轮,每个所述导轮皆具有相对的一个入线端和一个出线端,所述导轮上位于所述入线端和所述出线端之间的部位开设有若干平行的环形的沟槽,其特征在于:每个所述导轮上的若干环形的沟槽之中靠近所述出线端的环形的沟槽为第一沟槽,每个所述导轮上的若干环形的沟槽之中靠近所述入线端的环形的沟槽为第二沟槽,至少有一个导轮上的所述第一沟槽为具有对称型态的沟槽,设有至少一根线材,所述线材沿所述环形的沟槽缠绕于两个导轮之间形成若干条平行切线。9.根据权利要求8所述的线切割装置,其特征在于:设有给导轮供应切削液的切削液供应模块。10.根据权利要求8所述的线切割装置,其特征在于:所述入线端设有入线标记。11.根据权利要求8所述的线切割装置,其特征在于:所述具有对称型态的第一沟槽为正V型沟槽,每个所述正V型的第一沟槽具有槽底面和相对的两槽壁,所述第一沟槽的槽底面为平面状和圆弧状两者之一,每个所述第一沟槽的相对的两槽壁的夹角为30°至2CN102950660A权利要求书2/2页75°,每个所述第一沟槽的沟深为160um至300um,相邻两第一沟槽的间距为0.250mm至0.370mm。12.根据权利要求8所述的线切割装置的主轮结构,其特征在于:所述具有对称型态的第一沟槽为U