线切割清洁装置及线切割系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110883955A(43)申请公布日2020.03.17(21)申请号201911192832.7(22)申请日2019.11.28(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室(72)发明人郭宇轩赵晟佑(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)61230代理人刘长春(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/02(2006.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称线切割清洁装置及线切割系统(57)摘要本发明公开了一种线切割清洁装置，应用于包括走线单元和切割单元的线切割系统，所述线切割清洁装置包括第一砂浆供给单元、清洗液供给单元和控制单元，其中，所述控制单元分别电连接所述第一砂浆供给单元和所述清洗液供给单元，用于控制所述第一砂浆供给单元在从所述走线单元向所述切割单元移动的切割线上供给砂浆，并且控制所述清洗液供给单元在从所述切割单元向所述走线单元移动的切割线上供给清洗液。还公开了一种线切割系统，包括走线单元、切割单元以及一个或更多个线切割清洁装置。该线切割清洁装置能够对返回走线单元的切割线进行清洁，能够有效防止砂浆等杂质对走线单元中的绕线轮和轮轴造成污染和损伤。CN110883955ACN110883955A权利要求书1/1页1.一种线切割清洁装置(100)，应用于包括走线单元(200)和切割单元(300)的线切割系统，其特征在于，所述线切割清洁装置(100)包括第一砂浆供给单元(110)、清洗液供给单元(120)和控制单元(130)，其中，所述控制单元(130)分别电连接所述第一砂浆供给单元(110)和所述清洗液供给单元(120)，用于控制所述第一砂浆供给单元(110)在从所述走线单元(200)向所述切割单元(300)移动的切割线(140)上供给砂浆，并且用于控制所述清洗液供给单元(120)在从所述切割单元(300)向所述走线单元(200)移动的切割线(140)上供给清洗液。2.根据权利要求1所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述线切割清洁装置(100)还包括第一箱体(150)和第二箱体(160)，其中，所述切割线(140)依次穿过所述第一箱体(150)和所述第二箱体(160)，并且所述第一砂浆供给单元(110)与所述第一箱体(150)连通，所述清洗液供给单元(120)与所述第二箱体(160)连通。3.根据权利要求2所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述第一箱体(150)的内部水平设置有砂浆管路(151)，所述砂浆管路(151)连接至所述第一砂浆供给单元(110)；所述砂浆管路(151)的下端开设有第一开口(152)，所述切割线(140)的一部分位于所述第一开口(152)的正下方。4.根据权利要求3所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述砂浆管路(151)与所述第一砂浆供给单元(110)通过第一连接管路(170)连通，所述第一连接管路(170)上设置有第一电磁阀(153)，所述第一电磁阀(153)电连接所述控制单元(130)。5.根据权利要求2所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述第二箱体(160)的内部水平设置有清洗液管路(161)，所述清洗液管路(161)连接至所述清洗液供给单元(120)；所述清洗液管路(161)的下端开设有第二开口(162)，所述切割线(140)的一部分位于所述第二开口(162)的正下方。6.根据权利要求5所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述清洗液管路(161)与所述清洗液供给单元(120)通过第二连接管路(180)连通，所述第二连接管路(180)上设置有第二电磁阀(163)，所述第二电磁阀(163)电连接所述控制单元(130)。7.根据权利要求2所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述第一箱体(150)的下表面开设有砂浆排放孔(154)，所述第二箱体(160)的下表面开设有清洗液排放孔(164)。8.根据权利要求1所述的线切割清洁装置(100)，其特征在于，所述砂浆包括SiC，所述清洗液包括聚乙二醇。9.一种线切割系统，其特征在于，包括一个或更多个如权利要求1至8中任一项所述的线切割清洁装置(100)，其中，所述线切割清洁装置(100)设置在所述走线单元(200)与所述切割单元(300)之间，所述切割线(140)穿过所述线切割清洁装置(100)。10.根据权利要求9所述的线切割系统，其特征在于，所述切割单元(300)包括第二砂浆供给单元，所述第二砂浆供给单元用于在线切割过程中向所述切割线(140)与工件(400)的接触