磁盘用玻璃基板的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102959626A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102959626A(43)申请公布日2013.03.06(21)申请号201180030381.2代理人吴京顺任晓航(22)申请日2011.09.30(51)Int.Cl.(30)优先权数据G11B5/84(2006.01)2010-2222262010.09.30JPB24D7/18(2006.01)C03B33/023(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2012.12.20(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2011/0055472011.09.30(87)PCT申请的公布数据WO2012/042906JA2012.04.05(71)申请人HOYA株式会社地址日本东京都(72)发明人高桥武良植田政明(74)专利代理机构北京天悦专利代理事务所(普通合伙)11311权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书1010页页附图附图33页(54)发明名称磁盘用玻璃基板的制造方法(57)摘要本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，在用多个板状玻璃被层压而成的层压体制造磁盘用玻璃基板时，从处理时间的角度看不仅保持通过层压的加工的优点，而且还能将磁盘用玻璃基板内孔的正圆度提高到所要求的水准，在层压体准备工序中，准备多个板状玻璃被层压的层压体（5），在研削工序中，通过使大直径的圆筒状的外周研削砂轮和小直径的圆筒状的内周研削砂轮配置在同轴上的一体型空心钻（20）以轴为中心边旋转边向所述层压体（5）的层压方向移动，由此将所述层压体（5）研削加工成圆筒状，此时，所述内周研削砂轮的粒度号比所述外周研削砂轮的粒度号大。CN102956ACN102959626A权利要求书1/1页1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，该方法包括：层压体准备工序，准备多个板状玻璃被层压的层压体；研削工序，通过使大直径的圆筒状的外周研削砂轮和小直径的圆筒状的内周研削砂轮配置在同轴上的一体型空心钻以轴为中心边旋转边向所述层压体的层压方向移动，由此将所述层压体研削加工成圆筒状，其中，所述内周研削砂轮的粒度号比所述外周研削砂轮的粒度号大。2.根据权利要求2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研削工序中，边向所述外周研削砂轮和所述板状玻璃接触的外周研削面以及所述内周研削砂轮和所述板状玻璃接触的内周研削面供给研削液边进行研削加工，在单位时间向所述内周研削面的单位周长供给的研削液的量比在单位时间向所述外周研削面的单位周长供给的研削液的量大。3.根据权利要求1或2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述内周研削砂轮的粒度号为150以上且800以下，所述外周研削砂轮的粒度号为120以上且600以下。4.根据权利要求1至3任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述研削加工后，具有对所述板状玻璃的端面进行研磨的机械加工工序。2CN102959626A说明书1/10页磁盘用玻璃基板的制造方法技术领域[0001]本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法。背景技术[0002]如今，在个人用计算机或DVD（DigitalVersatileDisc）记录装置等上内置有硬盘装置（HDD：HardDiskDrive），以记录数据。特别是，使用于笔记本电脑等以携带性作为前提的设备的硬盘装置中，使用玻璃基板上设置磁性层的磁盘，并且用微微上浮于磁盘表面的磁头（DFH（DynamicFlyingHeight)磁头）在磁性层上记录磁记录信息或读取磁记录信息。从与金属基板（铝基板）等相比具有不易产生塑性变形的性质考虑，作为该磁盘的基板适用的是玻璃基板。[0003]另外，人们正在谋求磁记录的高密度化，以满足硬盘装置的存储容量增大的要求。例如，利用磁性层的磁化方向垂直于基板表面的垂直磁记录方式，实现磁记录信息区域的细微化。由此，能够增大一张磁基板的存储容量。并且，为了进一步增大存储容量，通过使磁头从磁记录表面的上浮距离非常短，由此进一步提高信息的记录再生的精度（提高S/N比）。在这样的磁盘的基板中，磁性层按照磁性层的磁化方向大致垂直于基板表面的方式平坦地形成。为此，将磁盘的基板的表面凹凸做成尽可能小。[0004]制造磁盘用玻璃基板的工序包括例如：去芯工序，将板状玻璃成形为圆环状；倒角工序，将圆环状的板状玻璃内周端面和外周端面进行倒角；边缘抛光工序，将内周端面和外周端面进行镜面加工。[0005]现有技术中公开了如下的加工方法（专利文献1）：在去芯工序中将一张一张分别进行（单片式加工），但通过对多个板状玻璃同时进行研削加工来一次制造多个圆环状的板状玻璃，由此能够缩短制造的处理时间。根据该现有的方法，通过使由内周研削砂轮和外周研削砂轮同轴一体构成的一体型空心钻边旋转边向