多级干式真空泵.pdf
雨巷****碧易
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多级干式真空泵.pdf
揭示一种多级干式真空泵,结构简单、紧凑,仅需少量部件,冷却性能最佳,材料廉价,设备不会热变形,能通过增加背压完全排放气体,且设施真空度增大。多级干式真空泵包括:多级缸体,有内部容纳空间、一侧的抽吸部分和另一侧的排出部分;成对转子,容纳在缸体内部容纳空间内并彼此啮合地转动;成对泵轴,使转子啮合;马达,驱动至少一根泵轴;成对齿轮,安装在泵轴处并与轴同步转动;气体通道,与多级缸体内部容纳空间连通并沿每个缸体外表面形成螺旋形;内部冷却通道,在气体通道内侧形成同心形状,并呈围绕内部容纳空间两侧的弧形轴向穿过缸体;外
多级干式真空泵.pdf
本发明的特征在于,通过使用位于诸缸之间的气体传输通道处的卸压阀,如果压缩气体压力超过压缩比逐渐增加的多级干式真空泵内的设定值,经过排放端口将部分压缩气体排放到外面,便可将缸内压力和温度保持在合适的水平上,则在具有大位移量的工作过程中,通过防止产生由于气体压缩比增加而出现的放热,就可防止马达损坏以及转子和缸的粘连。通过使用第六级缸和止回阀来除去第五级内的残余气体,就可获得较高的真空水平。气体传输通道形成在泵缸的侧表面处,于是,泵缸得到简化,并使热辐射变得简单。可防止泵温度升高。将由转子、轴承、轴承盖和齿轮形
多级干式罗茨真空泵.pdf
本发明一种多级干式罗茨真空泵,泵体(1)包含有包裹于外层的冷却水隔套(1.1),泵体(1)的内腔沿其轴向分隔为多个相互独立的泵腔,每一个泵腔包含有内腔(1.2)、以及位于内腔(1.2)和冷却水隔套(1.1)之间的外腔(1.3),前后相邻泵腔的内腔(1.2)与外腔(1.3)相连通;泵体(1)内穿接有轴(6),轴(6)上套装有多对转子(5),每一个泵腔内设置有一对转子(5),转子(5)包含有相互啮合且位于内腔(1.2)中的主动转子(5.1)和从动转子(5.2),且主动转子(5.1)和从动转子(5.2)分别套装
一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵.pdf
本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成,其中电机有水冷,泵腔外底部固定有水循环冷却管;共有5级腔体,每级腔体中通过一定的气体流道相通;本发明转速高,体积小重量轻,一级罗茨转子和四级爪式转子组合,罗茨转子为高真空吸气级,爪形转子为压缩排气级,可以在低入口压力下获得大的抽气速率,增大压缩比提高极限真空度,节约能源,在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量,
干式真空泵.pdf
本发明的实施例提供了一种干式真空泵,涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子,壳体的内部开设有容置空腔,两个一体式转子转动安装在容置空腔内,两个一体式转子相互啮合,两个一体式转子用于同步反向转动,以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少,减少加工难度,降低生产成本和装配难度,提升设备的性能和使用寿命。