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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106014995A(43)申请公布日2016.10.12(21)申请号201610534753.X(22)申请日2016.07.08(71)申请人江阴华西节能技术有限公司地址214434江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港B座1楼东北(72)发明人龙晋(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210代理人陈强(51)Int.Cl.F04C23/02(2006.01)F04C25/02(2006.01)F04C29/04(2006.01)F04C18/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称多级干式罗茨真空泵(57)摘要本发明一种多级干式罗茨真空泵,泵体(1)包含有包裹于外层的冷却水隔套(1.1),泵体(1)的内腔沿其轴向分隔为多个相互独立的泵腔,每一个泵腔包含有内腔(1.2)、以及位于内腔(1.2)和冷却水隔套(1.1)之间的外腔(1.3),前后相邻泵腔的内腔(1.2)与外腔(1.3)相连通;泵体(1)内穿接有轴(6),轴(6)上套装有多对转子(5),每一个泵腔内设置有一对转子(5),转子(5)包含有相互啮合且位于内腔(1.2)中的主动转子(5.1)和从动转子(5.2),且主动转子(5.1)和从动转子(5.2)分别套装于主动轴(6.1)和从动轴(6.2)上。本发明一种多级干式罗茨真空泵,结构简单、使用方便、故障率低且能够达到更高真空度要求。CN106014995ACN106014995A权利要求书1/1页1.一种多级干式罗茨真空泵,所述多级干式罗茨真空泵包含有泵体(1),其特征在于:所述泵体(1)包含有包裹于外层的冷却水隔套(1.1),所述泵体(1)的内腔沿其轴向分隔为多个相互独立的泵腔,每一个泵腔包含有内腔(1.2)、以及位于内腔(1.2)和冷却水隔套(1.1)之间的外腔(1.3),前后相邻泵腔的内腔(1.2)与外腔(1.3)相连通;泵体(1)内穿接有轴(6),所述轴(6)上套装有多对转子(5),每一个泵腔内设置有一对转子(5),转子(5)包含有相互啮合且位于内腔(1.2)中的主动转子(5.1)和从动转子(5.2),且主动转子(5.1)和从动转子(5.2)分别套装于主动轴(6.1)和从动轴(6.2)上。2.如权利要求1所述一种多级干式罗茨真空泵,其特征在于:所述泵体(1)的两端安装有端盖(2),所述主动转子(5.1)和从动转子(5.2)均架设在两个端盖(2)之间,左右两个端盖(2)上分别安装有左侧油箱(3)和右侧油箱(7),所述左侧油箱(3)内安装有齿轮(4),所述齿轮(4)为一对相互啮合的同步齿轮,该两个同步齿轮分别套装在主动轴(6.1)和从动轴(6.2)上。3.如权利要求1所述一种多级干式罗茨真空泵,其特征在于:转子(5)的转子型线为三叶型渐开线结构。4.如权利要求1所述一种多级干式罗茨真空泵,其特征在于:主动转子(5.1)和从动转子(5.2)之间、以及转子(5)与泵体(1)之间的间隙为0.2mm。5.如权利要求1所述一种多级干式罗茨真空泵,其特征在于:第一级泵腔的内腔(1.2)与吸气口(10)相连通,且吸气口(10)与待抽真空容器相连通;外腔(1.3)与排气口(11)相连通。2CN106014995A说明书1/3页多级干式罗茨真空泵技术领域[0001]本发明涉及一种真空泵,尤其是涉及一种多级形式的干式罗茨真空泵,其无油污染无废气、无废液排放且能够达到更高真空度高的多级干式罗茨真空泵,属于真空泵技术领域。背景技术[0002]目前,在真空应用领域还大量存在使用高能耗、高污染排放的各类真空泵,如使用大量耗油及废气排放的旋片真空泵、滑阀真空泵等油封真空泵,以及高能耗且存在大量废液、废气排放的液环真空泵,这些真空泵已经不适应目前国家对节能环保低排放的要求;同时,常规的罗茨真空泵均为单级罗茨真空泵,单级罗茨真空泵所能达到的真空度有限,为了满足更高真空度要求,以往的方式是通过连接管道及外置式冷却器将多个单级罗茨真空泵串联在一起,这种形式的多级罗茨真空泵组有多个电动机和多套冷却设备,用这种方式做成的组成的多级罗茨真空泵组存在结构复杂、体积庞大的缺陷,而且控制复杂、故障率比较高。发明内容[0003]本发明的目的在于克服上述不足,提供一种结构简单、使用方便、故障率低且能够达到更高真空度要求的多级干式罗茨真空泵,本发明多级干式罗茨真空泵的转子加工比干式螺杆真空泵的螺杆加工更简单,因此多级干式罗茨真空泵的制造成本更具优势,并且与干式螺杆真空泵对比,多级干式罗茨真空泵具有故障低、维护方便、使用成本更低等诸多优势,市场推广会更加容易,在多领域内可以被很广泛应用;同时,构成本专利多级干式罗茨真空泵的各级泵的前后级的容