多级干式罗茨真空泵.pdf
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多级干式罗茨真空泵.pdf
本发明一种多级干式罗茨真空泵,泵体(1)包含有包裹于外层的冷却水隔套(1.1),泵体(1)的内腔沿其轴向分隔为多个相互独立的泵腔,每一个泵腔包含有内腔(1.2)、以及位于内腔(1.2)和冷却水隔套(1.1)之间的外腔(1.3),前后相邻泵腔的内腔(1.2)与外腔(1.3)相连通;泵体(1)内穿接有轴(6),轴(6)上套装有多对转子(5),每一个泵腔内设置有一对转子(5),转子(5)包含有相互啮合且位于内腔(1.2)中的主动转子(5.1)和从动转子(5.2),且主动转子(5.1)和从动转子(5.2)分别套装
多级干式罗茨真空泵实际抽速计算的研究.docx
多级干式罗茨真空泵实际抽速计算的研究多级干式罗茨真空泵是一种广泛使用的真空泵之一,其主要用途是在高精度制造、半导体工业、电子工业和光学仪器等领域中实现高真空。本文将讨论多级干式罗茨真空泵的抽速计算,以及如何实际应用和改进,以提高其性能。一、多级干式罗茨真空泵的基本原理多级干式罗茨真空泵是一种动力由电机提供的泵,它通过运动板的转动,使气体被不断地抽出。每一个运动板都由不同的材料和形状构成,以满足不同的要求。这种真空泵的主要设计原理是利用连续干燥压缩循环来防止气体与油润滑剂混合,并通过气密室来降低气体密度和抽
一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵.pdf
本发明涉及真空泵技术领域,具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成,其中电机有水冷,泵腔外底部固定有水循环冷却管;共有5级腔体,每级腔体中通过一定的气体流道相通;本发明转速高,体积小重量轻,一级罗茨转子和四级爪式转子组合,罗茨转子为高真空吸气级,爪形转子为压缩排气级,可以在低入口压力下获得大的抽气速率,增大压缩比提高极限真空度,节约能源,在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量,
多级罗茨真空泵.pdf
本发明的实施例提供了一种多级罗茨真空泵,涉及真空泵技术领域。多级罗茨真空泵包括腔体和两个转子,腔体包括依次连通的进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔,一级压缩腔的数量为两个,两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式;两个转子安装在腔体内,两个转子相互啮合、且同步反向转动,转子包括进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子,进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子分别位于进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔。将两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式,使转子的两个一级罗茨转子相对于二者的中平面也呈对称形式,能够减小设备的体积
一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵.pdf
本发明公开了一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,它包括:泵体,其至少包括一级罗茨系统;罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元;罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴,以及电驱动终端,电驱动终端联接于罗茨转轴上;啮合机构,其联接于罗茨转轴上,并通过电驱动终端联动罗茨转子进行真空作业;啮合机构与罗茨转轴间装配有磁力联轴器;数字化综合电传驱动系统,其连接电驱动终端,进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。本发明每对罗茨转子都是独立的,解除了相互牵扯;通过各对罗茨转子独立电驱减小机械传动长度;