干式真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113417852A(43)申请公布日2021.09.21(21)申请号202110920587.8F04C29/12(2006.01)(22)申请日2021.08.11(71)申请人四川莱斯特真空科技有限公司地址610000四川省成都市天府新区新兴街道天工大道916号天科创造产业基地A2-1号(72)发明人沈文武周忠贤(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人杨勋(51)Int.Cl.F04C25/02(2006.01)F04C23/00(2006.01)F04C28/00(2006.01)F04C29/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称干式真空泵(57)摘要本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。CN113417852ACN113417852A权利要求书1/1页1.一种干式真空泵，其特征在于，所述干式真空泵包括：壳体(110)，所述壳体(110)的内部开设有容置空腔；两个一体式转子(120)，转动安装在所述容置空腔内，两个所述一体式转子(120)相互啮合，两个所述一体式转子(120)用于同步反向转动，以排出所述容置空腔内的气体。2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，所述一体式转子(120)包括：转轴(121)，转动安装在所述容置空腔内；多个排气爪，安装在所述转轴(121)上、且沿所述转轴(121)的长度方向间隔排布，多个所述排气爪与所述转轴(121)一体成型。3.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，所述壳体(110)包括两个盖合设置的外壳(111)，所述外壳(111)内开设有部分空腔(112)，两个所述外壳(111)的所述部分空腔(112)拼接形成所述容置空腔。4.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，两个所述外壳(111)的形状结构相同。5.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，所述部分空腔(112)包括两个轴腔(113)和多个爪腔(114)，两个所述轴腔(113)间隔平行布置，多个所述爪腔(114)沿所述轴腔(113)的长度方向间隔布置，每个所述轴腔(113)容纳一个所述转轴(121)，每个所述爪腔(114)容纳一个所述排气爪。6.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，多个所述排气爪的形状各不相同。7.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，多个所述排气爪包括依次布置的第一排气爪(122)、第二排气爪(123)、第三排气爪(124)、第四排气爪(125)和第五排气爪(126)，其中，所述第一排气爪(122)和所述第五排气爪(126)为中心对称结构，所述第二排气爪(123)、所述第三排气爪(124)和所述第四排气爪(125)为异形结构。8.根据权利要求7所述的干式真空泵，其特征在于，所述第一排气爪(122)、所述第二排气爪(123)、所述第三排气爪(124)、所述第四排气爪(125)和所述第五排气爪(126)的宽度逐渐减小。9.根据权利要求7所述的干式真空泵，其特征在于，所述第一排气爪(122)为两叶形状，所述第五排气爪(126)为五叶形状。2CN113417852A说明书1/5页干式真空泵技术领域[0001]本发明涉及光伏半导体加工设备技术领域，具体而言，涉及一种干式真空泵。背景技术[0002]随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样。现有的干式真空泵中一般采用多级爪式转子，也就是说，转子和轴为分体式结构，转子需要装配到轴上，每根轴上需要装配四个转子，对应的，壳体上为容纳所有转子设计有沿轴方向依次排布的五个空腔。这样，使现有的干式真空泵至少具有以下缺点：[0003]1.结构复杂，零件的加工精度要求较高，零件的互换性较低，致使产品的性能和经济性难以提高；[0004]2.零件多，装配的难度较大，导致装配的误差较大，设备的使用效果较差，使用寿命较短。发明内容[0005]本发明的目的包括提供一种干式真空泵，其能够减少零件的数量，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。[0006]本发明的实施例可以这样实现：[0007]第一方面，本发明提供一种干式真空泵，干式真空泵包括：[0008]壳体，壳体的内部开设有容置空腔；[0009]两个一体式转子，转动安装在容置空腔内，两个一体式转