一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103104491A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103104491103104491A(43)申请公布日2013.05.15(21)申请号201110358076.8(22)申请日2011.11.11(71)申请人中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司地址110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号(72)发明人雷震霖王光玉刘在行(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002代理人白振宇(51)Int.Cl.F04C25/02(2006.01)F04C23/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵(57)摘要本发明涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵腔外底部固定有水循环冷却管；共有5级腔体，每级腔体中通过一定的气体流道相通；本发明转速高，体积小重量轻，一级罗茨转子和四级爪式转子组合，罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，可以在低入口压力下获得大的抽气速率，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作。CN103104491ACN10349ACN103104491A权利要求书1/1页1.一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵，其特征在于：包括电机、腔体、泵体尾部齿轮箱(2)，其中腔体内设有主动轴(35)及从动轴(34)，该主动轴(35)及从动轴(34)前后两端均设有起支撑作用的轴承(20)及轴承支撑环(33)；所述主动轴(35)前端与电机连接，后端置于泵体尾部齿轮箱(12)内、并设有主动齿轮(1)，所述从动轴(34)尾端置于泵体尾部齿轮箱(2)内、并设有与主动齿轮(1)传动连接的从动齿轮(32)，从动轴(34)前端穿出腔体、并通过螺母(17)固定；所述腔体从泵体尾端依次包括一级腔体(4)、容置爪式转子腔体、排气腔体及轴承腔体(11)，其中一级腔体(4)、容置爪式转子腔体的端面上均设有使腔体间互相连通的进气口和排气口，排气腔体上设有与容置爪式转子腔体相连通的排气腔(9)；所述主动轴(35)及从动轴(34)后端的轴承(20)及轴承支撑环(33)容置于一级腔体(4)内，所述一级腔体(4)内还设有固套在主动轴(35)上的一级罗茨主动转子(30)和与其相对应、固套于从动轴(34)上的一级罗茨从动转子(29)；容置爪式转子腔体内设有固套在主动轴(35)上的爪式主动转子和与其相对应、固套在从动轴(34)上的爪式从动转子；所述主动轴(35)及从动轴(34)前端的轴承(20)及轴承支撑环(33)容置于轴承腔体(11)内。2.按权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述电机与腔体之间设有电机油箱(12)，该电机油箱(12)内设有套设在主动轴(35)和从动轴(34)上用于固定轴承(20)的电机侧轴承压盖(18)、套固在所述主动轴(35)上用于将主动轴(35)固定于电机一侧的主动轴套(14)、套固在该主动轴套(14)上的主动甩油盘(13)及套固在从动轴(34)端部的电机侧从动甩油盘(19)。3.按权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述容置爪式转子腔体包括二级腔体(5)、三级腔体(6)、四级腔体(7)及五级腔体(8)，各级腔体均设有进气口和排气口，并且上一级的排气口与下一级的进气口相连，所述五级腔体(8)的排气口与所述排气腔(9)相连；所述各级腔体内依次设有一正一反固套在主动轴(35)与从动轴(34)上的二级爪式主动转子(28)与二级爪式从动转子(27)、三级爪式主动转子(26)与三级爪式从动转子(25)、四级爪式主动转子(24)与四级爪式从动转子(23)、五级爪式主动转子(22)与五级爪式从动转子(21)。4.按权利要求3所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述各级转子与泵腔的间隙为0.1～0.2mm。5.按权利要求3所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述各级腔体通过螺栓联接，泵体尾部齿轮箱(2)通过螺栓固接于一级腔体(4)。6.按权利要求3所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述各级腔体间采用O型密封圈密封。7.按权利要求3所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述各级泵腔内的气体由高真空向低真空逐级压缩，压缩比为9∶8∶6∶3∶2。8.按权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述腔体外部设有水冷装置。9.按权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述电机包括外壳、电