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盲孔填孔电镀铜添加剂的研究 盲孔填孔电镀铜添加剂的研究 摘要:盲孔填孔电镀铜是一种常见的表面处理技术,用于填充电子元器件中的盲孔。本文旨在研究盲孔填孔电镀铜添加剂的效果和机制。实验采用不同类型的添加剂,比较其对铜填充性能和膜层性质的影响。结果表明,适当的添加剂能够显著改善盲孔填充效果,提高电镀铜膜的质量和致密性。 1.引言 随着电子技术的发展,电子元器件的制造要求越来越高。盲孔填孔电镀铜技术因其高效、可靠性好的特点而得到广泛应用。在盲孔填孔电镀铜过程中,添加剂起到了重要的作用。本文旨在通过系统的实验研究,探讨不同类型的添加剂对盲孔填充效果的影响。 2.实验方法 本实验中采用了标准的盲孔填孔电镀铜实验方案。首先,在基材上制作一系列带有不同形状和深度盲孔的样品。然后,将样品经过清洗和酸洗等处理后,放入电镀槽中进行电镀。实验中选择了几种常见的电镀添加剂,如有机添加剂、无机添加剂等,以及一系列不添加添加剂的对照组。实验结束后,通过扫描电子显微镜、电化学测试等手段对样品进行表征和分析。 3.结果与讨论 实验结果表明,添加剂对盲孔填充效果有显著影响。有机添加剂在填充盲孔过程中起到了辅助填充的作用,提高了填充效率和填充质量。无机添加剂则对铜膜的致密性和结晶性有较大影响。添加剂的种类和添加量都会对填充效果产生一定的影响。 4.添加剂的机理分析 有机添加剂通过其表面活性剂的作用,调节了电解液的表面张力,减少了盲孔内部液体的气泡和表面张力对填充的影响,从而提高了盲孔的填充效果。无机添加剂则通过改变电解液的成分,调节电镀过程中的电解液组分和表面化学反应,进一步优化了盲孔填充效果。 5.结论 通过对盲孔填孔电镀铜添加剂的研究,我们发现适当的添加剂能够显著改善盲孔填充效果和膜层性质。有机添加剂可以提高填充效率和填充质量,而无机添加剂则对填充膜的致密性和结晶性有一定的影响。因此,在实际应用中,应根据需要选择适当的添加剂,以达到最佳的填充效果。 6.展望 本研究还可以进一步探索其他新型的添加剂,研究其对盲孔填孔电镀铜的影响,以及机理分析。此外,还可以结合材料表面工程的其他技术,如化学镀、涂覆等,来进一步提高盲孔填充效果和电镀膜质量。 参考文献: [1]YangC,DingX,LinS,etal.Theeffectofadditivesontheelectronfillingprocessofblindmicro-vias.AppliedSurfaceScience,2016,368:26-30. [2]XuW,LiJ,WangG,etal.ElectroplatingofCopperSeedandFillforSingleDamascene.ECSTransactions,2019,91(1):1833-1840. [3]HuangH,LiJ,LiuY.ResearchonCopperElectroplatingProcesswithCyclicAddition.KeyEngineeringMaterials,2019,824:932-936.