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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103448154A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103448154103448154A(43)申请公布日2013.12.18(21)申请号201310380755.4(22)申请日2013.08.28(71)申请人衡水英利新能源有限公司地址053000河北省衡水市经济开发区纬十七路969号(72)发明人任军海(74)专利代理机构石家庄国为知识产权事务所13120代理人李荣文(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书9页说明书9页附图2页附图2页(54)发明名称一种硅块切割方法(57)摘要本发明公开了一种硅块切割方法,涉及晶体硅制作技术领域。本发明中,配制砂浆中使用的回收碳化硅用量和回收悬浮液的用量均为40%-100%,砂浆的密度调制为1.625-1.635kg/L,在切割过程中,根据硅块有效切割长度添加砂浆,添加砂浆的添加比例为0.235-0.3L/mm,砂浆的添加量=硅块有效切割长度×砂浆的添加比例;选用导轮,使导轮的槽口与钢线匹配;设定钢线的切割速度设定为12-14m/s、工作台移动速度250-330um/min、砂浆的流量130-160kg/min,切割硅块并冷却;用钢线为外表面设有螺旋形凸起并镀有一层抗氧化层的结构线进行切割。本发明通过钢线的切割速度、工作台移动速度和砂浆的流量的工艺匹配性,降低砂浆的更新,能够降低生产成本,降低了硅片切割时产生的碎片率,提高了成品率,并提高产品的质量。CN103448154ACN103485ACN103448154A权利要求书1/1页1.一种硅块切割方法,其特征在于,包括以下步骤:1)配制砂浆并注入浆料缸,在切割过程中,根据硅块有效切割长度添加砂浆;配制砂浆,把砂浆的密度调制为1.625-1.635kg/L;切割过程中,添加砂浆的添加比例为0.235-0.3L/mm,mm为硅块有效切割长度,砂浆的添加量=硅块有效切割长度×砂浆的添加比例;2)选用导轮,使导轮的槽口与钢线(1)匹配;3)工艺参数的设定;钢线(1)的切割速度设定为12-14m/s;工作台移动速度250-330um/min;砂浆的流量130-160kg/min;4)开始切割;5)切割结束,进行冷却取出硅片;所述钢线(1)为结构线,其外表面设有螺旋形凸起(2)并镀有一层抗氧化层(4)。2.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述1)中所述的配制砂浆中,使用的回收碳化硅用量为40%-100%,使用的回收悬浮液的用量为40%-100%。3.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述2)中,导轮的槽口与钢线(1)匹配为:钢线(1)的直径选用120um或130um,导轮的槽口选用340um、345um、350um、355um,使用直径为120um的钢线(1)匹配槽口是340um或345um的导轮,使用直径为130um的钢线(1)匹配槽口是350um或355um的导轮。4.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述3)中砂浆的温度为18-25℃。5.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述4)中切割过程中钢线(1)的张力为:当钢线(1)直径为120um时,放线轴张力为20-23N,收线轴张力为19-21N;当钢线(1)直径为130um时,放线轴张力为21-24N,收线轴张力为19-22N;所述4)中切割过程中的回砂温度≦40℃,钢线线弓≦7㎜。6.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述5)中对切割好的硅片进行冷却,冷却时间为3-10min;冷却结束后,设定工作台的上升速度30-100mm/min,设定钢线(1)的速度0.4-0.6m/s,将钢线(1)从切割好的硅片中取出。7.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述结构线的直径D为0.1mm-0.15mm,所述螺旋形凸起(2)为矩形螺纹,在钢线轴断面上,矩形螺纹的宽度为0.10mm-0.20mm,螺纹槽根间距为0.05mm-0.08mm,螺纹深度为0.05mm-0.08mm。8.根据权利要求7所述的硅块切割方法,其特征在于:所述螺旋形凸起(2)上设有小凹槽(3),小凹槽(3)沿螺旋形凸起(2)方向缠绕。9.根据权利要求8所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述小凹槽(3)为三条,小凹槽(3)断面为矩形;所述小凹槽(3)的宽度为0.01mm-0.02mm,深度为0.015mm-0.02mm,相邻小凹槽(3)间的小凸起(5)的宽度为0.03mm-0.04mm。10.根据权利要求1所述的一种硅块切割方法,其特征在于:所述抗氧化层(4)为黄铜合金层,钢线(1)的材质为高碳钢,碳含量为0.7