硅块切割方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102350741A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102350741A(43)申请公布日2012.02.15(21)申请号201110284040.X(22)申请日2011.09.22(71)申请人英利能源（中国）有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人任军海张晓方雷浩(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人逯长明(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称硅块切割方法(57)摘要本发明实施例公开了一种硅块切割方法，该方法包括：向砂浆缸中打入冷却液；将金刚石钢线依次缠绕在滑轮和导轮上，以编织成线网；将硅块放置在机床上，并设定机床零点和硅块切割过程中的各项工艺参数；采用金刚石钢线对该硅块进行切割。在本发明所提供的切割方法中，采用将金刚石钢线编织成线网，然后利用线网对硅块进行切割的方式，代替了现有技术中利用钢线带动砂浆对硅块进行切割的方法，由于金刚石颗粒硬度高，切割能力强，因此，金刚石钢线的切割能力要比携带砂浆的钢线切割能力强，从而大大提高了硅块的切割效率，而且提高了硅块切割的速度，降低了切割成本。CN1023574ACCNN110235074102350744A权利要求书1/1页1.一种硅块切割方法，其特征在于，该方法包括：向砂浆缸中打入冷却液；将金刚石钢线依次缠绕在滑轮和导轮上，以编织成线网；将硅块放置在机床上，并设定机床零点和硅块切割过程中的各项工艺参数；采用金刚石钢线对该硅块进行切割。2.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述冷却液为质量分数为3-10％的DI水。3.根据权利要求2所述的切割方法，其特征在于，所述冷却液的流量为150kg/l-180kg/l。4.根据权利要求3所述的切割方法，其特征在于，所述冷却液的温度为20℃-25℃。5.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述金刚石钢线通过在普通钢丝上电镀一层镍，再在镍层上电镀金刚石颗粒制作而成。6.根据权利要求5所述的切割方法，其特征在于，所述线网要编织两遍；其中，第一遍编织线网用低张力编织；第二遍编织线网用高张力编织。7.根据权利要求6所述的切割方法，其特征在于，所述低张力为10N-15N；所述高张力为28N-32N。8.根据权利要求7所述的切割方法，其特征在于，所述金刚石钢线的切割速度为13m/s-15m/s。9.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述机床零点位于工作台上的硅块距离线网1mm-1.5mm的位置。10.根据权利要求9所述的切割方法，其特征在于，所述工作台的速度为400μm/min-600μm/min。2CCNN110235074102350744A说明书1/4页硅块切割方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制造技术领域，更具体地说，涉及一种硅块切割方法。背景技术[0002]多线切割机是近年来发展极为迅速的高效切割设备，其主要特点是切割耗材较小，切割的硅片表面粗糙度、TTV值、弯曲度、翘曲度等性能指标均好于其他的加工方式。因而，多线切割机除了在传统的半导体加工中广泛应用外，随着太阳能行业的爆发式发展，也成为了太阳能级硅片切割的主要手段。其中，多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。[0003]目前在太阳能电池加工行业，都是采用钢线在高速转动下带动砂浆进行硅块切割的方法。砂浆主要由碳化硅和悬浮液组成，其切割的工作原理是砂浆由砂浆供给泵抽到热交换器内，在热交换器内对砂浆进行恒温到工艺要求的温度，然后通过砂浆供给管道供给到砂浆喷嘴处，砂浆由喷嘴均匀喷覆到线网上，在主辊的带动下，由运动的钢线带到切割区进行切割。[0004]但是砂浆中的切割主体是碳化硅，切割硅块时，必须保证足够的碳化硅参与切割，而碳化硅的制取过程耗能高，污染大，从而导致这种切割方法成本高，而且受到钢线切割能力和碳化硅参与能力的限制，切割速率比较低。发明内容[0005]有鉴于此，本发明实施例提供了一种硅块切割方法，提高了硅块切割的切割速率，降低了硅块切割成本。[0006]为实现上述目的，本发明实施例提供了如下技术方案：[0007]本发明公开了一种硅块切割方法，该方法包括：[0008]向砂浆缸中打入冷却液；[0009]将金刚石钢线依次缠绕在滑轮和导轮上，以编织成线网；[0010]将硅块放置在机床上，并设定机床零点和硅块切割过程中的各项工艺参数；[0011]采用金刚石钢线对该硅块进行切割。[0012]优选的，所述冷却液为质量分数为3-10％的DI水。[0013]优选的，所述冷却液的流量为150kg/l-180