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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103643205103643205A(43)申请公布日2014.03.19(21)申请号201310640254.5(22)申请日2013.12.04(71)申请人王普地址516006广东省惠州市仲恺高新区惠台工业园54号小区(72)发明人王普(74)专利代理机构深圳市千纳专利代理有限公司44218代理人唐立平(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图5页附图5页(54)发明名称一种真空镀膜机(57)摘要本发明公开了一种真空镀膜机,包括基材、控制系统、真空镀膜室、真空取件室和真空装件室,所述的真空镀膜室分别通过阀门与真空取件室和真空装件室连接,所述的真空镀膜室内设有基材、工件车、蒸发装置和循环轮转式传动机构,循环轮转式传动机构安装在工件车上,基材沿循环轮转式传动机构布置,对应基材的一面或双面设置有蒸发装置,真空镀膜室上还设有充气阀和若干阀门,阀门上连接有真空泵。本发明真空镀膜机具有设备通用性强、生产效率高和占地面积小的优点。CN103643205ACN1036425ACN103643205A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜机,包括基材、控制系统、真空镀膜室(2)、真空取件室(3)和真空装件室(4),所述的真空镀膜室(2)分别通过阀门与真空取件室(3)和真空装件室(4)连接,其特征在于:所述的真空镀膜室(2)内设有基材、工件车(1)、蒸发装置(5)和循环轮转式传动机构(6),循环轮转式传动机构(6)安装在工件车(1)上,基材沿循环轮转式传动机构(6)布置,对应基材的一面或双面设置有蒸发装置(5),真空镀膜室(2)上还设有充气阀和若干阀门,阀门上连接有真空泵。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的循环轮转式传动机构(6)呈倾斜45角的正方形状布局或矩形状布局。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的循环轮转式传动机构(6)包括两处动力轮组(9),每处动力轮组(9)均由两个动力轮(10)组成。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的循环轮转式传动机构(6)从每处动力轮组(9)的中间分开,形成两个对称设置的小循环轮转式传动机构(11)。5.根据权利要求3或4所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的工件车(1)、蒸发装置(5)和基材均为两套。6.根据权利要求5所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的蒸发装置(5)为若干个蒸发源,蒸发源与基材传动方向垂直并呈线状阵列排布。7.根据权利要求6所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的蒸发源处设有蒸发挡板,蒸发挡板与控制系统连接。8.根据权利要求7所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的真空取件室(3)、真空装件室(4)内均设有零件抓取机构(8)和若干个零件托架(7);或者设有放卷辊、收卷辊和零件抓取机构(8),所述的零件托架(7)、放卷辊和收卷辊与真空取件室(3)和真空装件室(4)均可拆卸连接。9.根据权利要求8所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的真空取件室(3)、真空装件室(4)上均设有充气阀和至少一个阀门,阀门上连接有真空泵。10.根据权利要求9所述的真空镀膜机,其特征在于:所述的蒸发源为电子束蒸发源、电阻蒸发源、溅射蒸发源或中频蒸发源。2CN103643205A说明书1/4页一种真空镀膜机技术领域[0001]本发明涉及镀膜,具体是指一种真空镀膜机。背景技术[0002]现有的镀膜机按照结构大体分为箱式真空镀膜机、卷绕式镀膜机和在线式自动镀膜机,箱式真空镀膜机包括基本型和三室箱式或双开门镀膜机,基本型箱式真空镀膜机包括球面扇形零件夹具(也称伞架),操作时需要将零件先装在镀膜伞架上的孔洞中,工作过程为:装件——抽气——镀膜——放气——取件,在零件需要正反两面镀膜时,需要镀完一面后将零件取出,翻转后再镀另外一面,有的在伞架上设置旋转机构完成双面镀膜,然而其结构使得工转架的传动非常复杂,而且重量大,同时,该结构不能够加工柔性基材,当然,为了提高加工质量,也有采用行星夹具,然其仍然不具备加工柔性基材的条件;三室箱或双开门镀膜机采用设置多个真空室以节省建立真空环境的抽气时间,或采用两套装夹部件以节省装件时间,然而三室箱镀膜机的设备伞架传送机构复杂,中间的真空阀门结构复杂,价格昂贵,双开门镀膜机一般只采用电阻蒸发,可以加工的镀膜材料偏少,镀制多层膜困难,而且,此两种方式在零件需要正反两面镀膜时,同样需要镀完一面后将零件取出,翻转后再装夹一次进行镀另外一面,同样需要重复加工一次。[0003]卷绕式镀膜机设有放卷辊、收卷辊及多个导向辊,主要是面向柔性的塑料薄膜或纸张基材,因为蒸发源有较强热辐射,为防止基材受高温