一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110453191A(43)申请公布日2019.11.15(21)申请号201910800581.X(22)申请日2019.08.28(71)申请人佛山市佛欣真空技术有限公司地址528226广东省佛山市南海区狮山镇罗村联和工业区联桂中路7号之二(72)发明人武文全(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205代理人谢泳祥(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/22(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图8页(54)发明名称一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机(57)摘要本发明公开了一种真空镀膜机的导电系统，包括转架，所述转架包括转盘，所述转盘的边沿设有外齿圈，包括侧导电装置，所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮，所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上，所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本发明通过利用齿轮的啮合进行导电，由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1，所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动，即导电齿轮与外齿圈保持接触，使得转架在转动的时候始终保持通电，从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本发明又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真空镀膜机，具有更好的导电稳定性，从而提高产品的加工质量。CN110453191ACN110453191A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜机的导电系统，包括转架，所述转架包括转盘，所述转盘的边沿设有外齿圈，其特征在于：包括侧导电装置，所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮，所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定座上，所述导电齿轮铰接在摆臂的另外一端，所述导电齿轮与外齿圈啮合，且导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述侧导电装置包括导电柱，所述导电柱与固定座铰接，所述弹性构件为扭簧，所述扭簧安装在导电柱与固定座之间，所述摆臂的后端固定在导电柱上，所述导电齿轮铰接在摆臂的前端，所述导电柱与导电齿轮电连接，所述扭簧迫使导电齿轮始终与外齿圈啮合。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述摆臂为导电材料制造而成，所述导电齿轮与导电柱通过摆臂导电连接。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述侧导电装置还包括转轴，所述转轴外套有轴承，所述导电齿轮套在轴承外，所述转轴通过螺钉固定在摆臂上，所述转轴与轴承均为导电材料。5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述摆臂与转轴之间还设有导电石墨。6.根据权利要求2所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述固定座包括安装底板、壳体，所述壳体固定在底板上，所述底板上设有安装孔，所述导电柱安装在安装孔中，所述导电柱的上端穿出壳体，所述扭簧安装在壳体中。7.根据权利要求1所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述转盘的中心上设有中心导电柱，还包括中心导电装置，所述中心导电装置包括底座、碳刷，所述弹簧与底座之间通过第二弹性构件连接，所述中心导电柱与碳刷导电连接。8.根据权利要求7所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述中心导电装置还包括压盖，所述压盖与底座固定连接。9.根据权利要求7所述的真空镀膜机的导电系统，其特征在于：所述碳刷包括内弧面，所述内弧面与中心导电柱的外弧面相匹配，所述第二弹性构件为螺旋弹簧，所述第二弹性构件有多根。10.一种真空镀膜机，其特征在于包括上述权利要求1-9任意一项所述的导电系统。2CN110453191A说明书1/4页一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术，特别是立式的真空镀膜机。背景技术[0002]真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；以及其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。[0003]现有的真空镀膜设备一般都包括有真空镀膜室，真空镀膜室中设有绝缘的平台，然后平台上设有导电的转架，工作的时候，产品挂在转架上，并通过转架导电。而现有技术中，转架的驱动一般由主动齿轮带动转动，而在转架的边上设置有导电线。而由于支架是绝缘的，这导致了在工作过程中，转架的电压、电流不稳，从而影响了产品的镀膜的质量。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是：提供一种提高真空镀膜机的转架的导电性能的装置。[0005]本发明解决其技术问题的解决方案是：一种真空镀膜机的导电系统，包括转架，所述转架包括转盘，所述转