多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板及非晶硅薄膜沉积方法.pdf
是立****92
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多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板及非晶硅薄膜沉积方法.pdf
一种多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板,电极板体用于承载PECVD基片的侧表面外形轮廓不大于PECVD基片的外形轮廓,电极板体前后两端分别通过活动连接装置安装有边缘端盖。由于PECVD基片将电极板体侧表面覆盖住,因此镀膜工艺中会将膜层镀到两侧的两个边缘端盖上,而电极板体不会附着镀膜层。当镀膜工艺完成后,将边缘端盖从电极板体上拆卸,然后将边缘端盖上的膜层进行清洗,清洗完毕后再安装到原电极板体上。因此可以减少硅粉在反应盒电极板和镀膜芯片的附着,有效增加反应盒的使用次数,降低清洗清洁的劳动强度,提高反应
用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具.pdf
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用锡诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法.pdf
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非晶硅薄膜成膜方法.pdf
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