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一种晶片清洗装置.pdf
2023-10-14
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一种晶片清洗装置.pdf
本发明属于IC及LED行业中晶片清洗技术领域，具体地说是一种晶片清洗装置。包括依次通过传送带连接的发片片盒、预清洗单元、滚轮组清洗机构、烘干系统及收片片盒，带清洗的晶片从发片片盒中通过传送带依次进入预清洗单元、滚轮组清洗机构、烘干系统及收片片盒中，进行预清洗、主清洗、烘干及收片的工艺过程。本发明同时对晶片的正反两面进行清洗，可有效解决因为二次清洗带来的污染，清洗完的晶片能直接供给下一道工序使用，减少了甩干环节，能有效的提高产品良率，减少浪费。
2023-10-14
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一种晶片清洗槽及晶片清洗方法.pdf
本发明涉及半导体材料技术领域，具体是一种晶片清洗槽，包括清洗槽，所述清洗槽的上方设置有夹持臂，夹持臂镜像对称设置有2排，每排等距分布有若干个夹持臂，且每排中夹持臂相靠近的一侧分别设置有调距推拉座，并且每排所述夹持臂的中部和上端分别活动连接有限位支撑杆和夹持控制同步杆，所述夹持臂的下端上下间隔设置有主动支撑轮和被动支撑轮，本发明能通过2排若干个夹持臂批量的对晶片自动夹持，且夹持臂上的主动支撑轮和被动支撑轮能够让晶片的边沿与夹持臂之间滚动连接，使得晶片被夹起后还能够自转，而且通过取放架和喷洗组合管与夹持臂的配
2023-05-29
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一种晶片清洗槽及晶片清洗方法.pdf
本发明公开了一种晶片清洗槽及晶片清洗方法，涉及半导体材料技术领域。本发明的一种晶片清洗槽，包括槽体以及和槽体相匹配的槽盖，所述槽体内固定安装有旋转装置，所述旋转装置包括转动安装在槽体底面的旋转底座，以及安装在旋转底座上的转动机构和两组驱动机构，所述转动机构包括转动轴，所述转动轴上套设有转动柱，所述转动轴的两端和对应的驱动机构之间连接有支撑杆，一侧所述支撑杆上固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴和转动轴固定连接。本发明公开了一种晶片清洗槽及晶片清洗方法，通过在槽体内设置的旋转装置，保证了晶片各部分在清洗
2023-05-29
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一种LED晶片清洗装置.pdf
本发明公开了一种LED晶片清洗装置，包括机架、清洗箱、清洗圆盘、第一T型杆和第二T型杆；所述清洗箱的底部固定安装有连接杆，连接杆的另一端通过滚珠轴承与液压伸缩杆的伸缩端转动连接；所述连接杆上固定安装有带动连接杆转动的齿轮，齿轮的后侧设置有齿条；所述第一T型杆的另一端向左贯穿竖挡板并与齿条的右端固定连接；所述第一T型杆的右侧还转动安装有凸轮；所述机架的上侧转动安装有转轴，转轴的下侧固定连接有清洗圆盘；所述机架的底部还固定安装有水箱。本发明通过设置可转动的清洗箱和清洗圆盘，清洗方便且清洗效果优异；还在清洗箱的
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一种晶片清洗及干燥用花篮装置.pdf
本实用新型公开了一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内,由此两个夹持片稳定无晃动。
2023-06-10
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