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一种晶片清洗及干燥用花篮装置.pdf
2023-06-10
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猫巷****熙柔
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本实用新型公开了一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内,由此两个夹持片稳定无晃动。
2023-06-10
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一种用于硅晶片清洗后干燥、去污的装置及方法.pdf
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一种检测杯清洗用干燥装置.pdf
本发明公开一种检测杯清洗用干燥装置,干燥装置位于支撑柜体上，所述支撑柜体上设有支撑盘，支撑盘上设有检测杯，支撑柜体上设有干燥件，干燥件包括干燥主体，所述干燥主体包括支撑柱，所述支撑柱底部边界交接处设有第一吸取孔，支撑柱的一端设有螺纹孔，吸取孔与螺纹孔之间连通设有负压连通孔。本发明干燥装置相对于传统技术中的干燥主体，清理彻底,避免清洗液残留，确保后期检测的准确度。
2023-11-07
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一种硅晶片存储花篮中转装置.pdf
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2023-05-11
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