内容提供者
直拉式单晶炉测温方案.pptx
2024-09-25
20金币
835KB
14页
骑着****猪猪
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共14页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
直拉式单晶炉测温方案.pptx
11111、硅液液面温度的测量单晶硅是在热场中进行拉制的，热场的优劣对单晶硅质量有很大影响。单晶硅生长过程中，好的热场，能生产出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶，甚至根本引不出单晶。有的热场虽然能生长单晶，但质量较差，有位错和其他结构缺陷。因此，配置最佳热场，对热场的实时监测非常重要,特别是结晶处的硅液液面的温度监测，尤为重要。解决方案多晶硅铸锭炉11多晶硅液面测温方案PYROSPOTDSR10N1单晶炉多晶炉材料发射率培训专用内容总结
2024-09-25
20
835KB
直拉式单晶炉的副炉.pdf
本发明涉及直拉式单晶炉的副炉，属于单晶硅的生产制造设备领域。一种直拉式单晶炉的副炉，其特征在于：它包括副炉本体（1），所述副炉本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（5）和下法兰（6），外壁（3）上开设有镁棒接口（7），所述镁棒接口（7）与水夹层（4）相连通。这种直拉式单晶炉的副炉在外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生
2023-06-19
10
282KB
直拉式单晶炉的下炉体.pdf
本发明涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述水夹层（4）内从上到下交错布置有若干栅板（5），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（10），所述镁棒接口（10）与水夹层（4）相连通。这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接
2023-06-19
10
303KB
直拉式单晶炉中石墨坩埚.pdf
一种直拉式单晶炉中石墨坩埚，包括石墨坩埚本体（1），所述石墨坩埚本体（1）包括三瓣块体，石墨坩埚本体内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部，石墨坩埚本体内壁位于三瓣块体的接口处“R”部的位置具有石墨涂层（2），该石墨涂层（2）由石墨粉和乙醇均匀混合而成，且石墨粉与乙醇的重量比为1：2.0～3.0。本发明的优点是：使用寿命长，成本低廉，操作工艺简单、方便、效果好。
2023-06-20
10
308KB
直拉式单晶炉用籽晶提升装置.pdf
一种直拉式单晶炉用籽晶提升装置，它由顶腔组件、提升腔组件、双极变速器与可抽拉传动轴、离合器组件、快速电机、慢速电机、提拉头限位机构、旋转组件构成，顶腔组件包括顶腔、顶盖法兰、销轴、平面轴承、滑轮组件，提升腔组件包括提升腔、线索管、花键轴、晶升磁流体；旋转组件包括晶升底板、重锤、滑环、晶转驱动电机、蜗轮蜗杆晶转减速器、晶转磁流体。它结构合理，具有籽晶提升稳定好、维修和使用简便等优点。
2023-06-20
10
437KB