直拉式单晶炉用籽晶提升装置.pdf
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直拉式单晶炉用籽晶提升装置.pdf
一种直拉式单晶炉用籽晶提升装置,它由顶腔组件、提升腔组件、双极变速器与可抽拉传动轴、离合器组件、快速电机、慢速电机、提拉头限位机构、旋转组件构成,顶腔组件包括顶腔、顶盖法兰、销轴、平面轴承、滑轮组件,提升腔组件包括提升腔、线索管、花键轴、晶升磁流体;旋转组件包括晶升底板、重锤、滑环、晶转驱动电机、蜗轮蜗杆晶转减速器、晶转磁流体。它结构合理,具有籽晶提升稳定好、维修和使用简便等优点。
籽晶夹头及直拉单晶炉.pdf
本发明公开了一种籽晶夹头及直拉单晶炉,所述籽晶夹头中设置一中空结构,所述中空结构贯通所述籽晶夹头的上下两端。将其应用于直拉单晶炉中,使得所述直拉单晶炉中的惰性保护气体(如氩气)可以通过所述中空结构冷却晶棒头部的中间部分,与晶棒的边缘散热速度保持一致,使整个晶棒散热均匀,克服晶棒边缘散热快,中间散热慢的现象,提高晶棒的晶体质量。另外,所述籽晶夹头的外径与一晶棒的直径相等,有利于抑制直拉单晶炉下端向上辐射传热,减少通过所述中空结构向上散失热量,降低长晶的功耗,稳定控制长晶过程的热场温度分布,有利于晶棒的生长,
直拉式单晶炉用坩埚驱动装置.pdf
一种直拉式单晶炉用坩埚驱动装置,它包括坩埚支架、坩埚旋转组件、坩埚轴组件、埚升组件,坩埚支架固定在底座上,两根配对的配有滑块的滚动直线导轨副固定在坩埚支架上,滑台与两块滑块连接,滑台上装坩埚轴组件,坩埚旋转组件装在滑台一侧,坩埚旋转组件带动坩埚轴组件旋转,驱动滚珠丝杆副上段通过轴承与上轴承座连接,上轴承座固定在坩埚支架顶面,埚升组件固定在底座上,埚升组件带动蜗轮减速器,滑台上的下轴承座与驱动滚珠丝杆副中的丝杆螺母连接,蜗轮减速器固定在底座上,驱动滚珠丝杆副直接连接蜗轮减速器,蜗轮减速器直接带动驱动滚珠丝杆
直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置,属于提高晶棒收率工艺的技术领域,所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°,当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时,使得整个热场的温度得到改变,使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近,使得晶棒拉出后,晶棒的尾部的截面尽量接近水平,进而晶棒的收率提高。
直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉,属于水冷屏装置的技术领域,包括水冷屏,所述水冷屏的下端设置圆环形护套,所述圆环形护套与所述水冷屏的下端连接,水冷屏上部分为不锈钢结构,而单晶炉内的加热器的加热温度为1450℃,炉腔内的环境温度在1000℃以上,不锈钢的耐高温温度为1000℃,在单晶炉内炉内温度过高容易造成不锈钢水冷屏高温熔断或爆裂,因此采用圆环形护套将水冷屏和圆环形护套固定在石英坩埚上方,避免水冷热屏高温熔断或爆裂,同时通过圆环形护套能够延伸水冷屏的长度,延伸水冷热屏的热折射,有效保证单晶炉内良