直拉式单晶炉的下炉体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103184507A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103184507103184507A(43)申请公布日2013.07.03(21)申请号201110455596.0(22)申请日2011.12.31(71)申请人汤仁兴地址214434江苏省无锡市江阴市开发区滨江东路299号(72)发明人汤仁兴(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210代理人唐纫兰曾丹(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称直拉式单晶炉的下炉体(57)摘要本发明涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述水夹层（4）内从上到下交错布置有若干栅板（5），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（10），所述镁棒接口（10）与水夹层（4）相连通。这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口中插入镁棒后将与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。CN103184507ACN1038457ACN103184507A权利要求书1/1页1.一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述水夹层（4）内从上到下交错布置有若干栅板（5），相邻的两块栅板（5）中，一块栅板（5）的一端固定在内壁（2）上，另一端与外壁（3）之间留有间隙，而另一块栅板（5）一端固定在外壁（3）上，另一端与内壁（2）之间留有间隙，所述外壁（3）上开设有与水夹层（4）相连通的进水口（6）和出水口（7），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（10），所述镁棒接口（10）与水夹层（4）相连通。2CN103184507A说明书1/2页直拉式单晶炉的下炉体技术领域[0001]本发明涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。背景技术[0002]单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、上炉体、下炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。[0003]以往的直拉式单晶炉的下炉体只有单层炉壁，而单晶炉工作过程中炉体部分长时间处于高温状态，所以炉壁很容易损坏，从而影响了下炉体的使用寿命。发明内容[0004]本发明的目的在于克服上述不足，提供一种热量能被有效吸收，炉壁不易损坏，使用寿命较长的单晶炉下炉体。[0005]本发明的目的是这样实现的：本发明直拉式单晶炉的下炉体，包括下炉体本体，所述下炉体本体包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间设有水夹层，所述水夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内壁上，另一端与外壁之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外壁上，另一端与内壁之间留有间隙，所述外壁上开设有与水夹层相连通的进水口和出水口，所述内壁和外壁的上下两端分别连有上法兰和下法兰，所述外壁上开设有镁棒接口，所述镁棒接口与水夹层相连通。[0006]与现有技术相比，本发明的有益效果是：这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以增加水的停留时间，并且增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。附图说明[0007]图1为本发明直拉式单晶炉的下炉体的结构示意图。[0008]其中：下炉体本体1、内壁2、外壁3、水夹层4、栅板5、进水口6、出水口7、上法兰8、下法兰9、镁棒接口10。具体实施方式[0009]参见图1，本发明涉及的直拉式单晶炉的下炉体，它包括下炉体本体1，所述下炉体本体1包括内壁2和外壁3，所述内壁2和外壁3之间设有水夹层4，所述水夹层4中通入自来水用于对下炉体降温，所述水夹层4内从上到下交错布置有若干栅板5，相邻的两块3CN103184507A说明书2/2页栅板5中，一块栅板5的一端固定在内壁2上，另一端与外壁3之间留有间隙，而另一块栅板5一端固定在外壁3上，另一端与内壁2之间留有间隙，所