复合磨床以及研磨方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105773365A(43)申请公布日2016.07.20(21)申请号201511022241.7B24B51/00(2006.01)(2006.01)(22)申请日2015.12.30B24B41/02(30)优先权数据2015-0024822015.01.08JP(71)申请人株式会社捷太格特地址日本大阪府(72)发明人赖经昌史安藤善昭竹岛雅之小林久修近藤隆(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人李洋苏琳琳(51)Int.Cl.B24B27/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B41/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称复合磨床以及研磨方法(57)摘要本发明涉及复合磨床以及研磨方法。复合磨床在以旋转工作台(5)的旋转轴线为中心的圆周上配置有工件保持装置(61、62、63、64)的旋转中心。该复合磨床具备：立柱(3a、3b、3c)，其沿与旋转轴线正交的方向进退；砂轮座(4a、4b、4c)，其配置于立柱并沿与旋转轴线平行的方向进退；以及砂轮(9a、9b)，其配置于砂轮座并绕与旋转轴线平行的砂轮轴旋转。通过旋转工作台(5)的旋转使以研磨部位的中心与工作主轴的中心一致的方式端面保持于工件保持装置的工件(W)依次移动，并执行多个研磨工序从而对工件的内周面、外周面进行研磨。CN105773365ACN105773365A权利要求书1/1页1.一种复合磨床，其特征在于，具备：旋转工作台；多个工件主轴台，其具备工作主轴，所述工作主轴具有与作为所述旋转工作台的旋转中心的旋转轴线平行的旋转轴，所述多个工件主轴台以所述工作主轴的中心配置在以所述旋转轴线为中心的圆周上的方式设置于所述旋转工作台；工件保持装置，其设置于所述工作主轴的端部；多个立柱，所述多个立柱沿与所述旋转轴线正交的方向进退；多个砂轮座，所述多个砂轮座配置于所述立柱并沿与所述旋转轴线平行的方向进退；砂轮，其配置于多个所述砂轮座并绕与所述旋转轴线平行的砂轮轴旋转；工件定位装置，其确定被所述工件保持装置保持的工件的保持位置；以及控制装置，其对所述旋转工作台、所述工件主轴台、所述立柱、所述砂轮座、所述砂轮、以及所述工件定位装置进行控制，以使得通过所述旋转工作台的旋转而使被所述工件保持装置保持的工件依次向所述砂轮的研磨位置移动，进而利用多个所述砂轮对该工件进行研磨，针对具备旋转面亦即研磨部位的工件，以使所述旋转面的研磨部位的中心与所述工作主轴的中心一致的方式保持所述工件，并且边使所述工件旋转边利用所述砂轮对所述研磨部位进行研磨。2.根据权利要求1所述的复合磨床，其特征在于，在所述工件具备圆筒的外周面与平坦的侧面的情况下，所述工件保持装置保持所述工件的所述侧面。3.根据权利要求2所述的复合磨床，其特征在于，所述工件定位装置通过以下方式进行所述工件的定位，即，将具备与所述旋转轴线平行且相互交叉的两个平面亦即基准面的基准部件定位成：与所述旋转轴线正交的方向上的从所述工作主轴的中心到两个所述基准面的距离，与所述工件的圆筒的外周面的半径相等，并使所述工件的圆筒的外周面与构成所述基准面的所述两个平面接触。4.根据权利要求2所述的复合磨床，其特征在于，所述工件保持装置利用磁力来吸引所述工件的所述侧面。5.根据权利要求3所述的复合磨床，其特征在于，所述工件保持装置利用磁力来吸引所述工件的所述侧面。6.一种研磨方法，其特征在于，使用权利要求1～5中任一项所述的复合磨床来研磨具备旋转面的研磨部位的工件。2CN105773365A说明书1/5页复合磨床以及研磨方法技术领域[0001]本发明涉及在旋转工作台保持多个工件，并且利用多个砂轮按照每次旋转工作台的旋转而推进工序并研磨工件的复合磨床以及研磨方法。背景技术[0002]在利用多个工序对具备旋转面的研磨部位的工件进行研磨的情况下，边在多个磨床间依次移送工件边对其进行研磨。[0003]另外，在晶片的平面研磨中，存在如下技术：具备上表面保持多个晶片的旋转工作台、以及与旋转工作台对置地配置的多个研磨装置，利用旋转工作台的旋转来依次进给晶片，并利用各研磨器对规定的工序进行加工。参照日本特开2012－240186号公报。[0004]当边在多个磨床间依次移送工件边对各工序进行研磨的情况下，由于在每个工序中安装、取下工件，所以工件的保持位置在每个工序中不同，恐怕会使精度降低。发明内容[0005]本发明的目的之一在于提供一种能够保持具备旋转面的研磨部位的工件不变地实施多个研磨工序的复合磨床以及研磨方法。[0006]作为本发明的一形态的复合磨床具备：[0007]旋转工作台；[0008]多个工件主轴台，上述多个工件主轴台