涡轮分子泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105952665A(43)申请公布日2016.09.21(21)申请号201610258601.1(22)申请日2012.09.24(62)分案原申请数据201280073600.X2012.09.24(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地(72)发明人筒井·慎吾(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)F04D29/58(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称涡轮分子泵(57)摘要涡轮分子泵包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有定子的基座上，且将多段固定翼定位；多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片。冷却隔片具有隔片部和冷却部，其中隔片部与其他隔片一起层叠，冷却部形成有环状的沟，以收纳供冷却介质流通的冷却管。冷却管形成为环状并收纳在沟中，而且具有配置在冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。CN105952665ACN105952665A权利要求书1/2页1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于所述多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有所述定子的基座上，且将所述多段固定翼定位；且所述多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片，所述冷却隔片具有隔片部和冷却部，其中所述隔片部与其他隔片一起层叠，所述冷却部形成有环状的沟，以收纳供冷却介质流通的冷却管，所述冷却管形成为环状并收纳在所述沟中，而且具有配置在所述冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述冷却隔片是层叠在所述基座上的所述多个隔片中，配置在最靠所述基座侧的隔片。3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括隔热构件，所述隔热构件设于所述基座与配置在所述基座上的所述隔片之间。4.根据权利要求3所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括泵壳，将层叠在所述基座上的所述多个隔片夹持在所述泵壳与所述基座之间，且所述泵壳螺固于所述基座，所述隔热构件是隔热性垫圈，装设在用于所述螺固的螺栓上，且配置在所述冷却隔片与所述基座之间。5.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述冷却隔片是以铝形成，所述隔热性垫圈是以不锈钢或耐热温度为120℃以上的树脂所形成。6.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，在所述冷却管与所述沟的间隙，填充有导热性润滑脂、良导热性的树脂、焊料。7.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，在所述冷却部与所述基座之间设有真空用密封件。8.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于，在所述冷却部与所述泵壳之间设有真空用密封件。9.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述冷却隔片与配置在所述冷却隔片的上段的所述隔片是一体化。10.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述冷却隔片是从所述基座侧数起的第二个所述隔片。11.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于所述多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有所述定子的基座上，且将所述多段固定翼定位；且所述多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片，2CN105952665A权利要求书2/2页所述冷却隔片是以铝铸造而且具有隔片部和冷却部，其中所述隔片部与其他隔片一起层叠，所述冷却部的内部埋入供冷却介质流通的冷却管，所述冷却管形成为环状并埋入所述冷却部，而且具有配置在所述冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。3CN105952665A说明书1/7页涡轮分子泵技术领域[0001]本申请是2012年9月24日提交的国家申请号为201280073600.X、名称为“涡轮分子泵”的专利申请的分案申请。背景技术[0002]以往，在半导体制造步骤中的干式刻蚀(dryetching)或化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)等工艺(process)中，为了使工艺高速进行而一面供给大量的气体(gas)一面进行处理。一般而言，在干式刻蚀或CVD等工艺的工艺腔室(chamber)的真空排气中，使用包括涡轮翼部与螺纹槽泵部的涡轮分子泵。当利用涡轮分子泵排出大量的气体时，动翼(旋转翼)所产生的摩擦热会依照动翼、静翼(固定翼)、隔片(spacer