涡轮分子泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105443404A(43)申请公布日2016.03.30(21)申请号201510518401.0(22)申请日2015.08.21(30)优先权数据2014-1939892014.09.24JP(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地(72)发明人森山伸彦(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019代理人寿宁张华辉(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)F04D27/00(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图6页(54)发明名称涡轮分子泵(57)摘要本发明提供一种能使起动操作简化的涡轮分子泵。涡轮分子泵(100)包括：泵转子(4)，由马达(M)旋转驱动；定子(32)，对应于泵转子(4)而设；加热器(38)，使定子(32)升温至目标温度(T0)；温度传感器(39)，检测定子(32)的温度；及控制单元(2)，若在加热器(38)开始通电后输入有旋转开始指令，则在定子(32)的温度达到设定为小于目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动泵转子(4)，当定子(32)的温度超过规定温度时，以常态转数进行旋转驱动。CN105443404ACN105443404A权利要求书1/1页1.一种涡轮分子泵，其特征在于其包括：圆筒状的转子，由马达旋转驱动；圆筒状的定子，对应于所述转子而设；加热器，使所述定子升温至目标温度；温度传感器，检测所述定子的温度；及控制部，若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，以所述常态转数进行旋转驱动。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，所述控制部进行第1控制或第2控制，所述第1控制是指在达到所述规定温度之前使所述转子处于停止状态，所述第2控制是指以低于所述常态转数的规定转数进行旋转驱动。3.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，所述控制部包括：停止判定部，判定当进行所述第2控制时所述转子是否处于停止状态；及通知部，当所述停止判定部判定为停止状态时，进行异常通知。4.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，所述规定温度以下的泵使用温度区域被划分为多个温度范围，越是高温侧的温度范围，所述规定转数设定得越大。5.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：结束信息提示部，当所述定子的温度达到所述目标温度时，提示升温结束信息。6.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：推断时间提示部，依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示所述推断出的升温时间。7.根据权利要求5所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：推断时间提示部，依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示所述推断出的升温时间。2CN105443404A说明书1/8页涡轮分子泵技术领域[0001]本发明涉及一种具有使定子升温的构成的涡轮分子泵。背景技术[0002]涡轮分子泵中，已有如下技术：为了抑制反应产物的沉积，利用加热器使涡轮分子泵的定子升温(例如，参照专利文献1)。若使定子升温，则定子会产生热膨胀从而会使转子与定子的间隙尺寸变化，且使排气性能变化。因此，以使间隙尺寸在升温且膨胀的状态下成为最佳尺寸的方式，设定转子及定子的尺寸。因此，定子温度为常温时的间隙尺寸变得像升温时的膨胀变化大时那么窄。[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2011-80407号公报[0006]然而，随着升温的设定温度升高，常温时的间隙尺寸会变得更窄，当定子的升温不充分的泵起动时(开始旋转时)转子与定子可能会接触。尤其是，当泵起动时，在定子温度为常温、转子温度高的情况下，接触的可能性变高。因此，当使用具备升温功能的涡轮分子泵时，使用者须待升温结束后进行泵起动操作，从而存在操作变得繁琐的问题。而且，当因使用者的误操作而使刚开始升温后便进行泵起动时，会产生转子与定子接触的不良状况。发明内容[0007]本发明的优选实施方式的涡轮分子泵包括：圆筒状的转子，由马达旋转驱动；圆筒状的定子，对应于所述转子而设；加热器，使所述定子升温至目标温度；温度传感器，检测所述定子的温度；及控制部，若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，以所述常态转数进行旋转